在一些集成电路的精密机械车间中，对于无尘车间的洁净程度更加严格。甚至空气中的温度是需要控制在正负不超过二摄氏度的范围，原因在于集成电路的零部件极1小，微小的温差极可能带来零部件的膨胀或者收缩，直接影响到成品率。
因此无尘车间前需要建设一定面积的缓冲区域，在人员、设备和物料进入无尘车间之前需要先在缓冲区域进行初步的清洁，保证其上含有的污染物被清除，不会对车间内的环境造成负1面的影响。这种缓冲区域称之为风淋车间。
在无尘车间工程开始之前，要先确定整个工程的规范和流程才能让后续的施工和使用得到有条不紊的进展。其具体如下：
1.首先要确定无尘车间工程的目的，此步骤主要在于确定无尘车间为何而建，建设的要求，建设完成之后要达到的效果。
2.确定整个无尘车间工程的施工范围以及洁净度的范围。其中洁净度的范围包括温湿度的范围、粒子数目的范围、风量和风速的范围。
3.确定整个无尘车间工程中的全责，哪个人负责那一区域的净化、哪个人负责哪个产品的净化、哪个人负责指导、哪个人负责检查。
4.确定作业的内容，具体如净化空调怎么安装、地板和墙面怎么安装、安装时采用什么主材料和辅助材料。
5.确定完成作业之后的维护方法，并且交代相关的工作人员进行定期检查。
***1品无尘车间地面
GMP净化车间地面、墙壁、天花板使用浅色、***、耐用、平整、以清晰的覆盖材料。地面应有充足的坡度，不积水，墙角、地角、顶角应接缝良好，光滑易清洗；
***1品净化车间内地面较多采用硬度好、耐冲击、附着力强、不易起尘且耐热水、酸碱腐蚀的自流平环氧树脂地面，以提高洁净度并使外观平整明亮。
在***1品净化车间内采用免接触式的感应水龙头和手消毒器，避免接触污染，更符合GMP卫生要求。
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