兴之扬蚀刻不锈钢网片小编来向大家说说电浆干法蚀刻中的基本物理及化学现象：

在干法蚀刻中，随着制程参数及电浆状态的改变，可以区分为两种极端的性质的蚀刻方式，即纯物理性蚀刻与纯化学反应性蚀刻。纯物理性蚀刻可视为一种物理溅镀(Sputter)方式，它是利用辉光放电，将气体如Ar，解离成带正电的离子，再利用偏压将离子加速，溅击在被蚀刻物的表面，而将被蚀刻物质原子击出。此过程乃完全利用物理上能量的转移，故谓之物理性蚀刻。其特色为离子撞击拥有很好的方向性，可获得接近垂直的蚀刻轮廓。比如某些防锈不锈钢,像蚀刻加工过滤网、不锈钢过滤片时就需要4min。但缺点是由于离子是以撞击的方式达到蚀刻的目的，因此光阻与待蚀刻材料两者将同时遭受蚀刻，造成对屏蔽物质的蚀刻选择比变差，同时蚀刻终点必须精准掌控，因为以离子撞击方式蚀刻对于底层物质的选择比很低。且被击出的物质往往非挥发性物质，而这些物质容易再度沉积至被蚀刻物薄膜的表面或侧壁。加上蚀刻效率偏低，因此，以纯物理性蚀刻方式在集成电路制造过程中很少被用到。

纯化学反应性蚀刻，则是利用电浆产生化学活性极强的原(分)子团，此原(分)子团扩散至待蚀刻物质的表面，并与待蚀刻物质反应产生挥发性之反应生成物，并被真空设备抽离反应腔。因此种反应完全利用化学反应来达成，故谓之化学反应性蚀刻。此种蚀刻方式相近于湿式蚀刻，只是反应物及产物的状态由液态改变为气态，并利用电浆来促进蚀刻的速率。304L型（低碳），并耐用中等温度和浓度的***，广泛地用作液态气体贮罐，用作低温设备（304N）、用具其它消费产品，厨房设备、病院设备、运输工具、废水处理装置。因此纯化学反应性蚀刻拥有类似于湿式蚀刻的优点及缺点，即高选择比及等向性蚀刻。在半导体制程中纯化学反应性蚀刻应用的情况通常为不需做图形转换的步骤，如光阻的去除等。

不锈钢蚀刻预处理

不锈钢蚀刻预处理主要是指不锈钢材料在蚀刻前的清洁，清洁后的表面有利于后期防蚀层的制作。相对铜/铝合金来说，不锈钢不易氧化，所以清洗之后不需要钝化处理，所以不锈钢预处理比铜/铝合金预处理要简单一些。

同时不锈钢在碱性溶液中有较高的稳定性，可以选择较强的碱性溶液来进行清洁，在不锈钢蚀刻预处理中选择碱性溶液配方或者酸性溶液配方进行清洁都是可以的，不锈钢表面清洁的工艺流程具体可以分为：工件验收—装挂—化学除油—二级流动水洗—酸洗—三级流动水洗—除油效果检测—干燥—下挂，以上就完成了不锈钢预处理，之后就可以转入下一道制作防蚀层的工艺。型号409—***廉价的型号（英美），通常用作汽车排气管，属铁素体不锈钢（铬钢）。兴之扬加工的不锈钢蚀刻网预处理就同以上工艺流程。

不锈钢蚀刻后表面平滑度差的原因是什么。

蚀刻后不锈钢工件表面平滑度差，对于零件的后期使用与装配肯定会有不好的影响，一般来说合格蚀刻加工的零件表面平滑度是比较高的，只要管控好每一个工序，基本不会出现什么问题，那么不锈钢蚀刻后表面平滑度差的原因是什么呢，下面兴之扬就为大家整理一下，大家对应一步步排查。对于金属蚀刻加工而言，这个目的就是满足其设计图纸对产品的要求，更加具体的说，这些要求包括产品的蚀刻尺寸要求，经蚀刻后的表面粗糙度要求等。

一：蚀刻液里的杂质含量太高，蚀刻不准确，会造成表面粗糙，更换蚀刻液就可以解决；

第二：一般不锈钢蚀刻会采用三氯化铁来进行，如果三氯化铁的质量也会影响工件表面平滑度，选择质量好的三氯化铁供应商是很有必要的；

第三：活化与添加剂含量不足，这就需要根据经验加强活化过程，以及定期补加合适区间的添加剂；

第四：氯离子浓度高或者磷酸离子浓度过低，也会引起工件表面平滑度差，因此要做好元素浓度的调整，氯离子过高可以更换部分溶液，或者添加适当的HNO3和NH4NO3进行稀释；

第五：如果不锈钢原材料质量不过关，材料晶粒比较粗糙，那么时候后的工件表面也会比较粗糙，因此要做好原材料的质量管控。