石英管的选用:
闭管扩散要用石英管,这是由于石英管能耐1250℃左右的高温,而且在1800℃以上时会变得很柔软且很粘,能做成所需要的形状。另一方面,由于石英管采用的原料是特i级水晶石,纯度高,含***的杂质很少,对于扩散、配制合金等能保证质量,因此闭管扩散常采用石英管。石英管的制备:根据扩散硅片直径的不同,来选择石英管的内径、壁厚等参数。
石英管的检测方法
(1)检测石英管的阻值石英管可以通过万用表检测其阻值,将万用表挡位调至“蜂鸣挡”,将红黑表笔分别搭在石英管的两端,如下图所示,此时万用表的蜂鸣器应当发出响声,并且指针应当指向零。若检测时,万用表蜂鸣器无声音发出,并且指针指向无穷大时,说明石英管的内部发生损坏。
(2)检测石英管的供电电压检测石英管的供电电压时,首先将万用表的量程调至“交流250V”电压挡,红黑表笔分别搭在石英管的供电端。此时观察万用表的读数,若在交流220V左右,则说明石英管的供电电压正常。
石英管的化学性能
1、耐高温石英玻璃的软化点温度约1730℃,可在1100℃下长时间使用,短时间较高使用温度可达1450℃。2、耐腐蚀除氢i氟酸外,石英玻璃几乎不与其他酸类物质发生化学反应,其耐酸能力是陶瓷的30倍,不锈钢的150倍,尤其是在高温下的化学稳定性,是其他任何工程材料都无法比拟的。
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