管式炉的使用过程中要注意石英管的特性

1、加热时请将陶瓷炉塞在炉管内，否则炉管两端温度较高，法兰中的O型圈不能承受较高的温度，使气密性不好，放 炉塞和炉子两端有助于形成平衡的温度场。

 2、加热时，请确保将氧化铝炉塞放入炉管中，并放2个，共4个，炉塞两侧两端之间的距离可约为450mm（因为加热）  HTL1200分管炉的截面长度为400mm）如果没有放置炉塞，炉管两端的温度很高，法兰的O型圈不能承受更高的温度，这使得气密性差 炉管两端的炉塞有利于形成平衡的温度领域。

3、石英管的耐温性与其纯度有关。 纯度越高，耐温性越高。

真空气氛管式炉使用氢气作为工作气体时

1、接通氢气气路，对各接头处用肥皂水检漏，确认不漏气。

2、确认各阀门处于关闭状态。

3、逆时针旋转旋钮开氢气瓶主阀，顺时针旋动旋钮，缓慢打开出口减压阀，使出口气压在0.1MPa。

4、 接通机械泵电源，打开管式炉出口阀和机械泵气路上的两个阀门，抽5分钟。

5、关闭机械泵气路上的两个阀门，关闭管式炉出口阀门，关机械泵。

6、逆顺时针打开上气路控制阀，使箭头指向“开”位置。

7、逆顺时针调节流量计旋钮，使示数在20ml/min。

8、逆时针旋动旋钮，打开管式炉进气阀，直至气压表读数为零。

9、打开管式炉进气阀，打开氢气气路上的红色出口阀门。

10、在通氢气满十分钟后，才能开始加热管式炉。加热前，逆时针调节流量计旋钮，使锥形瓶中气泡出现的速度为2个/秒钟。

真空管式炉操作

不管何种结构型式的加热炉，其热交换系统要求有足够的传热面积，较好的传热效果，运行过程中尽量减少结垢，降低排烟温度这一运行指标。燃烧系统要求有较好的调节性能和低氧燃烧特性，以达到控制过剩空气系数运行指标。加热炉热效率的高低主要取决于结构设计合理，有利于燃烧系统发挥作用，同时传热面积要足以满足热负荷的要求；运行过程中要及时调整工况，经济运行。

如何选择管式炉？

1、了解您的应用程序

单区与多区：多区炉具有多个***控制的恒温区，允许受控的温度梯度或较长的加热区。

水平（标准）与垂直：垂直管炉提供较小的占地面积，可用于快速加热/淬火过程

RTP（快速热处理）：可滑动的样品保持器或加热炉

高压/真空炉：特殊设计的高温高压真空处理用不锈钢或高温合金管

旋转管式炉：加热过程中旋转管以提高粉末加工/涂层均匀性

气体处理能力：可用于氢气处理和高温腐蚀研究的特殊模型

多功能：基于管式炉的完整系统，如CVD、PECVD、HPCVD、ALD、石墨烯和2D材料生长系统等