至成真空技术工程有限公司是一家***研究制造生产真空镀膜设备及其它真空相关设备的***高新科技企业。公司本着“专注研究镀膜工艺,提供的产品及服务”的理念,赢得国内外客户的满意及信任,并成功打开国外市场。我们将会秉承客户的认可,将镀膜机研发事业推向新的高峰。
本公司制造的真空镀膜设备系列:电阻蒸发真空镀膜设备、电子束蒸发真空镀膜设备、磁控溅射真空镀膜设备、多弧离子真空镀膜设备、多功能真空镀膜设备以及真空焊接设备等。各类真空镀膜设备广泛用于家电电器、钟表、玩具、车灯灯罩、手机、工具、陶瓷、瓷砖、塑料、玻璃、五金、光学、电子等高科技产业方面,已成功的为客户开发出满足各种不同要求的镀膜工艺方案。
真空磁控溅射镀膜机的电气控制系统介绍
真空磁控溅射镀膜机的电气控制系统按位置分为控制柜、变压器组和操作台三个主要部分。设备所有功能的控制元器件包括可编程PLC、变频器、调压模块等都装在控制柜里,控制柜的正面安装有电阻、电离复合真空计,安装有增压泵、扩散泵的加热电流表以及三相电源的指示灯、报警指示灯、紧急停止开关。
变压器组安装在真空罐的下面,其输出端正极直接与对应的蒸发电极棒连接,输出端负极并接后再与蒸发负极连接。
操作台安放在真空罐的前方、观察窗的下方,触摸屏、各部件的操作控制按钮、旋钮或开关都设在操作台的面板上。
触摸屏位于操作面板的左上部,卷绕系统参数包括收放卷的张力、卷径、机器的运行速度等的设置和数据显示、真空系统的运行指示都在触摸屏中进行。
操作面板的右上部是蒸发源加热功率调节钮和电流表,可以调节和显示每组蒸发源的功率。
操作面板的下部是功能控制按钮或开关,包括控制电源总开关、卷绕车进退、摆臂进退、弯辊正反转、送丝开关及速度快慢、盖板开关、系统运行的控制模式选择等。
真空电镀设备的监控方法
真空电镀设备的监控方法 1、目视监控:使用眼睛监控,因为薄膜在生长的过程中,由于干涉现象会有颜色变化,我们就是根据颜色变化来控制膜厚度的,此种方式有一定的误差,所以不是很准确,需要依靠经验。 2、极值监控法:当膜厚度增加的时候其反射率和穿透率会跟着起变化,当反射率或穿透率走到极值点的时候,就可以知道镀膜之光学厚度ND是监控波长(入)的四分之一的整倍数。但是极值的方法误差比较大,因为当反射率或者透过率在极值附近变化很慢,亦就是膜厚ND增加很多,R/T才有变化。反映比较灵敏的位置在八分之一波长处。 3.定值监控法:此方法利用停镀点不在监控波长四分之一波位,然后由计算机计算在波长一时总膜厚之反射率是多少,此即为停止镀膜点。
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