大连纳米镀膜机厂家量大从优「在线咨询」
作者:至成真空科技2021/12/13 4:12:49









真空计是真空磁控溅射镀膜机器上有什么作用


真空计:真空计是真空磁控溅射镀膜机器上的重要组成部分,它是检测镀膜机真空度的重要手段。真空计根据其工作原理可以分为真空计和相对真空计,真空计可以直接测量压强的高低,相对真空计只能间接测量真空度。蒸发系统主要指成膜装置部分,镀膜机器的成膜装置很多,有电阻加热、电子枪蒸发、磁控溅射、射频溅射、离子镀等多种方式,鄙人就电阻加热和电子枪蒸发两种方式作介绍,因为此两种方式我应用的比较多。电子束蒸发的大优点在于:电子束的光斑可以随意调整,可以一枪多用,灯丝可以隐藏,避免污染,可以蒸发任意镀膜材料,维修方便,蒸发速度可以随意控制,材料分解小,膜密度高。机械强度好。成膜控制系统,薄膜监控目前应用方式比较多,主要有:目视监控法,定(极值)值监控、水晶振荡监控、时间监控等等。本人主要介绍目视监控、定(极值)监控和水晶振荡监控三种。目视监控也叫直接监控,就是采用眼睛监控,因为薄膜在生长的过程中,由于干涉现象会有颜色变化,我们就是根据颜色变化来控制膜厚度的,此种方式有一定的误差,所以不是很准确,需要依靠经验。


用真空镀膜技术代替传统的电镀工艺有哪些优势


用真空镀膜技术代替传统的电镀工艺,不但能节省大量的膜材和降低能耗,而且还会消除湿法镀膜中所产生的环境污染。因此国外在钢铁零件涂镀防腐层和保护膜方面,已采用真空镀膜工艺来代替电镀工艺。在冶金工业中,为钢铁和带钢加镀铝防护层已很普遍;在机械制造业中,真空镀膜工艺用于改变改变某些加工工艺和节约贵重的原材料,如飞机涡轮发动机的叶片已经不用价格昂贵的耐高温金属制造,而是采用价格低廉易加工材料,成形后再用真空镀膜的方法在叶片表面上加镀耐高温,耐腐蚀的防护层。再如汽车制造业中采用塑料制品金属化零件代替各种金属零件,既减轻了汽车的重量又节约了燃油的消耗。在金属切削刀具上加镀TiN硬膜可使用刀具寿命提高3~6倍,从而节省了大量的高速钢材。塑料薄膜采用真空磁控溅射镀膜机镀膜的方法加镀铝等金属膜,再进行染色,可得到用于工业中的装饰品薄膜。



真空镀膜设备的化学成分的分析

真空镀膜设备的化学成分的分析 从蒸发源射出的蒸汽流脱离蒸镀原料表面的时候温度很高,能量也比较高,在上升通过蒸发区到达基材表面的过程中,由于碰撞、运动中的能量交换导致动能下降,到达基材表面的粒子很快与基材交换能量,迅速沉积在其表面。 在镀膜工艺中,离子轰击改善基材的表面,在蒸发区建立等离子气体以提高气化微粒功能等辅助手段,较好地解决了镀膜与基材结合牢固度的问题。 其实在众多的镀膜工艺里,氧化物镀膜工艺和程序是有非常大的难度的,因为它面临着很多因素影响,环境和材料等等,但是氧化物的镀膜工艺却是受到广大的企业生产的亲睐。所以这种镀膜工艺和设备的发展趋势会越来越好!


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