现代真空镀膜机膜厚测量及监控方法

涂层的镀膜机控制方法是直接的石英晶体微天平(QCM)的方法，该仪器可以直接驱动的蒸发源，通过PID控制回路传动挡板，使蒸发率。只要仪器和系统控制软件的连接，它可以控制涂层的全过程。但(QCM)的准确性是有限的，镀膜机部分原因是其监测代替光学厚度的涂层质量。

此外，虽然QCM在低温下非常稳定，但温度高，它将成为对温度很敏感。在长时间的加热过程中，镀膜机很难避免传感器为敏感的区域，导致薄膜的重大错误。光学监测是一种涂层优选的监控模式，镀膜机这是因为它能准确控制膜的厚度(如果使用得当)。

精度的提高，由于许多因素，但根本的原因是光学厚度的监测。optimalswa-i-05单一波长的光学监测系统，是间接控制，镀膜机***的光学监测软件结合王博士的发展，有效地改善和灵敏度变化的光反应的膜厚度的减少终的误差的理论方法，提供监测波长的反馈或传输模式的选择和广泛的。特别适用于涂布各种薄膜厚度监控包括不规则的膜。

真空镀膜机的结构与工作原理介绍

一、真空镀膜机的结构：

真空卷绕镀膜机由真空罐、真空抽气系统、蒸发系统、卷绕系统、冷却系统及电气系统组成。

真空罐是整台真空镀膜设备的主体部件，其结构为圆柱形筒体，左端为圆形封头封闭，右端的法兰与卷绕车的大圆板对接实现密封。

外部联接抽气管道，内部空间用于在真空状态中镀制产品，分为上下室，上室是基材卷绕室，下室是铝丝蒸发镀膜室。

二、真空镀膜机的工作原理：

真空罐的正面中上部装有可供观察基材运行情况和观察镀层质量的长方形观察窗，正面中下部装有可供观察送丝情况和蒸发舟加热状态的长方形观察窗，同时还装有可供观察收料轴、放料轴运转状况的圆形视窗各一个。

真空罐的背面中下部开有一方形的蒸发镀膜室抽气口，尾部圆封头处开有一圆形的卷绕室抽气口。真空罐的底部装有水箱，用于罐体的冷却，顶部装有真空测量规管用于测量真空室内的压力。

真空镀膜机的维修方法介绍

一、当正在镀膜时真空度突然下降：

1、蒸发源水路胶圈损环（更换胶圈）

2、坩埚被打穿（更换坩埚）

3、高压电极密封处被击穿（更换胶圈）

4、工转动密封处胶圈损坏（更换胶圈）

5、预阀突然关闭可能是二位五通阀损坏（更换二位五通阀）

6、高阀突然关闭可能是二位五通阀损坏（更换二位五通阀）

7、机械泵停机可能是继电器断开（检查继电器是否工作正常）

8、烘烤引入线电极密封处被击穿（更换胶圈）

9、挡板动密封处胶圈损坏（更换胶圈）

10、玻璃观察视镜出现裂纹、炸裂（更换玻璃）

二、长期工作的镀膜机抽真空的时间很长且达不到工作真空、***真空、极限真空、保真空：

1、蒸发室有很多粉尘（应清冼）

2、扩散泵很久未换油（应清冼换油）

3、前级泵反压强太大机械泵真空度太低（应清冼换油）

4、各动密封胶圈损坏（更换胶圈）

5、由于蒸发室长期温度过高使其各密封胶圈老化（更换胶圈）

6、蒸发室各引入水路密封处是否有胶圈损坏（更换胶圈）

7、各引入座螺钉、螺母有无松动现象（重新压紧）

8、高低预阀是否密封可靠（注油）