真空镀膜机的结构与工作原理介绍

一、真空镀膜机的结构：

真空卷绕镀膜机由真空罐、真空抽气系统、蒸发系统、卷绕系统、冷却系统及电气系统组成。

真空罐是整台真空镀膜设备的主体部件，其结构为圆柱形筒体，左端为圆形封头封闭，右端的法兰与卷绕车的大圆板对接实现密封。

外部联接抽气管道，内部空间用于在真空状态中镀制产品，分为上下室，上室是基材卷绕室，下室是铝丝蒸发镀膜室。

二、真空镀膜机的工作原理：

真空罐的正面中上部装有可供观察基材运行情况和观察镀层质量的长方形观察窗，正面中下部装有可供观察送丝情况和蒸发舟加热状态的长方形观察窗，同时还装有可供观察收料轴、放料轴运转状况的圆形视窗各一个。

真空罐的背面中下部开有一方形的蒸发镀膜室抽气口，尾部圆封头处开有一圆形的卷绕室抽气口。真空罐的底部装有水箱，用于罐体的冷却，顶部装有真空测量规管用于测量真空室内的压力。

真空镀膜机磁流体密封组件的安装

真空镀膜机磁流体密封组件的安装与使用:密封组件安装与使用时应注意注意被装的密封组件与轴的同轴度要求、磁流体的注入量应适当、安装前既应对组件进行必要的真空清洗处理、密封组件泄漏时检查：

1、注意被装的密封组件与轴的同轴度要求，借以保证密封间隙具有较小的偏心量。

2、磁流体的注入量应适当，在保证各级密封间隙中具有足够量的前提下，不可过多地注入磁流体，以防抽空时多余的磁流体进入真空室内，污染真空室。

3、安装前既应对组件进行必要的真空清洗处理，又应注意防止乙醇等清洗剂滴入磁流体密封组件内，以免引起密封组件的失效。

4、如发现密封组件泄漏时应从如下几点进行查找：a、磁流体是否失效；b、连接法兰与组件内静密封圈是否受到损坏；c、极齿齿型是否与转轴接触产生干摩擦；d、转轴与密封组件是否连接不当产生同轴度移位；e、磁铁是否退磁等。

真空镀膜设备故障排除及检漏方法

真空镀膜设备故障排除及检漏方法在真空镀膜设备正常工作时,主开关电路中的开关管处于饱和导通状态,管压降保持在100V左右,栅极得到正偏压50V,高压指示6kV(或10kV)。从检测电路R21上得到的电压控制信号不足以使D13稳压管击穿导通,BG14、BG15、BG16处于截止状态,而BG11、BG12、BG13处于导通状态,由BG11输出一个2.5V左右的高电位。栅压切换电路上的BG10得到2.5V的电压控制信号而处于导通状态,使得BG9的基极电位变为0电位而截止,主开关管通过D6、D7得到正向50V偏置的电压。同时BG7、BG8也处于导通状态,D8稳压管击穿导通,提供主开关管栅极恒定的电流。由于BG10处于导通状态,使得帘栅控制电路的BG4的基极处在0电位而截止,帘栅压的大小受高压分压器信号UR2的控制。当UR2<UD2时,输出的帘栅压的大小是随UR2的变化而变化。

在真空镀膜设备不正常情况下,增加束流时,由于束斑的位置不在中心,电子束可能会打到坩埚的边缘,或者束斑的位置在中心,但蒸镀的材料被打穿等原因,都会出现高压无指示。这是由于高压输出被近似短路,造成电子束流大于预定值,主开关管处于截止状态,承受全部高压,使得高压无输出。由于打火而造成过大的束流,在电流检测电路R21取得的过流信号,使得D13稳压管被击穿导通,BG14、BG15、BG16处于导通状态,C13通过BG14、R51放电,使得BG11、BG12、BG13很快截止,BG11输出为0V。栅压切换电路上的BG10得到0V的输入信号而截止,BG9立刻导通,550V正端通过BG9接到主开关管的阴极,负端通过D5管接到主开关管的栅极,主开关管得到-550V偏压而进入深度截止,此时高压就没有指示了。