PVD真空镀膜设备蒸发系统工作方式

PVD真空镀膜设备蒸发系统主要指成膜装置部分，PVD镀膜机的成膜装置很多的，PVD镀膜有电阻加热、射频溅射、离子镀等多种方式。PVD镀膜电阻蒸发根据其结构和工作原理是目前为止应用多的，PVD镀膜广泛的蒸发方式，PVD镀膜也是应用时间长的蒸发方式。

下面介绍PVD镀膜电阻加热和电子枪蒸发的方式：

PVD镀膜将钨片做成船状，然后安装在两个电极中间，再热传导给PVD镀膜材料，当钨舟的热量高于PVD镀膜材料熔点的时候，材料就升华或者蒸发了，PVD镀膜由于操作方便，结构简单，成本低廉。PVD镀膜电子枪蒸发是到目前为止应用多的一种蒸发方式，PVD镀膜可以蒸发任何一种PVD镀膜料。

将镀膜材料放在坩埚里面，PVD镀膜将蒸发源制作成灯丝形状，PVD镀膜由于灯丝的材料是钨，形成了一股电子束，PVD镀膜由于电子束温度非常高，PVD镀膜可以熔化任何镀膜***凝结下来。

至成真空十多年来***从事各种真空镀膜应用设备制造，多年来致力于研发和生产真空镀膜机，以新技术不断制造出满足市场需要的真空电镀设备，为客户提供定制化的工艺解决方案和机器。

新型磁控溅射真空镀膜机镀膜工艺

磁控溅射真空镀膜机镀膜工艺在镀膜行业无处不在，只要说到镀膜技术，大家都会立刻想到磁控镀膜工艺，磁控溅射真空镀膜机也受到了各大厂家的追捧，磁控溅射镀膜工艺更是受到大家的喜爱，今天至成小编为大家介绍一下磁控溅射镀膜机镀膜工艺。

其实从一般的金属靶材溅射、反应溅射、偏压溅射等,伴随着工业需求及新型磁控溅射技术的出现,低压溅射、高速沉积、自支撑溅射沉积、多重表面工程以及脉冲溅射等新型工艺成为目前该领域的发展趋势。低压溅射的关键问题是在低压(一般是指<011Pa)下,电子与气体原子的碰撞几率降低,在常规磁控溅射技术中不足以维持靶材表面的辉光放电,导致溅射沉积无法继续进行。通过优化磁场设计,使得电子空间运动距离延长,非平衡磁控溅射技术可以实现在10-2Pa等级的真空下进行溅射沉积。另外,通过外加电磁场约束电子运动可以实现更低压强下的溅射沉积。进行高速沉积可以极大的提高工作效率、减少工作气体消耗以及获得新型膜层。实现高速沉积主要需要解决的问题是在提高靶材电流密度的同时,不会产生弧光放电;由于功率密度的提高,靶材、衬底的冷却能力需要相应提高等。目前,已经实现了靶材功率密度超过100W/cm2,沉积速率超过1μm/min。

因此现在市面上有多功能离子真空镀膜机的出现，通过大量试验及工业化应用，本项目得出以下结论：

（1）所设计的多种镀膜技术复合的多功能离子镀膜机是成功的。

（2）该设备可大面积低成本制备表面光洁致密、平滑细腻，性能优异的类金刚石膜及金属氮（或碳）化物多元多层膜。

（3）采用特殊的多层梯度中间过渡层及掺杂技术，降低了内应力，提高了膜/基结合力，有利于膜层生长（厚达6mm）。

（4）所制备DLC膜具有优异的综合性能：硬度>20GPa（高达37.25GPa），厚度可调（厚达6mm），膜/基结合力>50N（高达100N），摩擦系数<0.2，膜层光洁细腻。

（5）所开发出的基体/Cr/CrN/CrTiAlN/CrTiAlCN/CrTiC/DLC多元多层耐磨耐热自润滑涂层具有良好的综合性能：硬度高达28.7GPa，厚度1-4mm可调，膜/基结合力大于70N，摩擦系数小于0.2。

（6）所研制的耐磨减摩膜已成功应用于多种高精密工模具以及精密关键部件上。应用结果表明：膜层的表面强化效果显著，可大幅度提高产品质量及使用寿命。

真空磁控溅射镀膜机工艺,及人员技能选择

很多人听说过真空磁控溅射镀膜工艺，大概只知道它的做用就是镀膜，但是大家却不知道，它的镀膜原理以及流程，为什么它能镀出精美的膜，包括后期这方面的工作人员该如何选择，或者是规划自己后期的发展，各人认为，只有你对这个行业有详细的了解，这样你才能做出正确的选择。

首先给大家讲解一下真空磁控溅射镀膜机镀膜流程，让大家知道，那些漂亮的膜是怎么镀出来的。一般在在镀膜前，机器都要先抽真空，并且抽真空过程中要加热，加热的温度取决于你工件的材质3。当真空度达到高真空，一般在0.005Pa左右时，开始Ar离子轰击清洗，用电弧靶主弧轰击清洗，接着用用用电弧和磁控靶混合打底和用磁控靶打底，然后通入要镀的物质，后降温出炉就可以了，整个镀膜的过程就完成了，很多多人，觉的镀膜工艺很繁琐，技术含量很高。其实不然，只要你弄镀膜流程和镀膜过程的应该注意的细节，然后精力投入进去，其实还是非常好上手的。很过刚入门的新人，一腔热血，想要进入镀膜行业，想要学习技术，但是却没有了解他到底想要学习什么技术。是镀膜工艺技术，镀膜设备方面的技术，很多新人对此行业了解不深，把这两者混为一谈，只是这两者是有很大区别的，尤其是刚进入行业的新人，要切记及注意。