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工艺调整鼓励企业中VOCs排放量贡献较大的生产环节向相对清洁的产业转移，逐步淘汰VOCs排放量较大的生产环节；表面喷涂行业推广采用静电喷涂、高流量低压喷等喷涂效率较高的喷涂工艺；涂料、油墨、胶水生产行业加大生产装置和生产过程的密闭率，研磨、涂装等生产装置边缘的密闭率要求≥90%，鼓励采用密闭化一体化的生产工艺；包装印刷行业推广采用无溶剂复合工艺代替干式复合工艺。

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有机废气主要来源于光刻、显影、蚀刻和扩散等工序，在这些工序中用有机溶液(如)清洗晶片表面，挥发产生的废气是有机废气的来源之一:同时，在光刻、蚀刻等过程中使用的光阻剂(光刻胶)中含有易挥发的，如醋酸丁酯等***废气主要来源于晶体外延、干法蚀刻和CVD等工序，在这些工序中应用(SiH4)、磷烷(PH3)、四氟化碳(CF4)、、三氯化硼等多种高纯度特殊气体处理晶体，部分特殊气体具有性、窒息性和腐蚀性。

底涂一般采用阴极电泳涂装，中涂、面涂少数企业采用水性漆涂装，多为溶剂型漆涂装。汽车涂装生产中电泳底漆干燥、中涂、色漆、清漆涂装、干燥过程中排出大气污染物。其中50%来自中涂、色涂和清漆，30%来自清洗溶剂。车身密封和打蜡过程由于PVC和防护蜡固化率高，不易挥发，污染物排放量相对较小。在中涂、色漆和清漆作业过程中，约80~90%排放在涂装室和流平室，10~20%排放在干燥室。