半导体工业用的气体统称电子气体。按其门类可分为纯气，高纯气和半导体特殊材料气体三大类。特殊材料气体主要用于外延，掺杂和蚀刻工艺；高纯气体主要用作稀释气和运载气。第二：用于气体的估量，它通常含有较少的有关组分，在已知浓度水平时，允许将分析装置校准到与这个浓度值一致。电子气体是特种气体的一个重要分支。电子气体按纯度等级和使用场合，可分为电子级，LSI（大规模集成电路）级，VLSI（超大规模集成电路)级和ULSI(特大规模集成电路）级。    

           近几年来，智研数据研究中心随着我国超大规模集成电路、平板显示器、光伏发电等产业的迅速发展，电子气体市场需求量明显增长，电子特种气体的国产化已是大势所趋。氙气灯凹面聚光后可生成2500℃高温可用于焊接或切割难熔金属如钛、钼等。据了解，我国在国产化方面取得可喜进展：国产高纯氨改变了国外气体公司垄断市场的格局，高纯四氟化碳“有价无货”时代也宣告结束，高纯已成功打开。

电子气体主要包括：、、乙、化氢、硒化氢、、四氟化碳、化三氢、、三氯化硼、三氟***、三氟化氮、、六、六氟化钨、六氟化硫、、磷烷、、、气、氨气、电子级等.

其中六氟化硫、电子级、、磷烷使用较多。

气    

气是激光器中气(Ar)和气(Kr)的缓冲气体，用于半导体的制造。目前乌克兰是***气的主要生产国，CRYOIN ENGINEERING LTD 其前身“RARE GASES”公司是***稀有气体市场的，他们所生产的气（纯度达99.999%）约占***供应量的65%。外界的气温越高且相对湿度越大，那么内外水蒸汽的气压差也就会越大，从而也导致了大气中的水分透过设备的密封薄弱环节进入到设备的可能性也就越大。这家公司是在1990年由一批低温技术 领域的科学家发起成立的。

 作为中国工业气体行业早在国内举办的一展——中国国际气体技术、设备与应用展览会（英文简称IG China），历经十七载发展，在规模和***度上已经成长为***规模大、买家层次高的工业气体展。为快速提升品牌影响力，获得市场认可，今年各大特种气体生产商竞相报名参展，目前中国的电子光源工业、半导体制造业、特种玻璃行业的产能增长拉动了对特种气体的需求量，海外特种气体的生产商纷纷把市场开发 的***转移到中国大陆市场。999%包装容积：8L、40L、50L压力：10mpa、13。正因如此才吸引了来自乌克兰的CRYOIN ENGINEERING LTD连续五届参展，并大面积展出其新技术和产品，足见其对进军中国市场的决心和规划。

厂家分享氦的液体温度范围为2×10-3—5.20K，氢的液体温度范围为14.2—33.0K，的液体温度范围为24.5—44.40K。由于具有化学惰性，且蒸发潜热大（按同体积液体计，液制冷能为液氢的2.7倍），因此，在25-40K内，经常用代替氢作为实验的安全冷却剂。在液上部抽出蒸气，很容易使液体变为固体，因为的三相点温度只比它的标准沸点低约2.5K，在把作为制冷剂应用时，利用固体的熔化潜热可使的有效产冷量增加20%。为了能够把大空间快速抽成真空状态，经常使用液氦低温泵，若真空要求不高，也可以采用液低温泵。用做介质制成的封闭循环式微型制冷机，可被用于的红外检测器。因为这种气体传感器的反应很灵敏，所以现在它一般测量气体的微漏现象。在高能粒子检测和研究用的气泡室中经常使用液。在美国，主要用于气泡室，且一次性需求量很大。此外，液体还被用于对自由基的研究。随着科学技术的不断发展，液体作为25-40K的低温冷却剂将日益受到重视。

高纯氙气分享压缩气体、液化气体都有热膨胀的特性，尤其是液化气体，严禁用任何手段给气体加热，避免高温、阳光直射、储存场所要阴凉要有通风设备，瓶装压缩气体不能超压充装，液化气体要严格按照充装系数充装，气体的充装量可在气体出厂时附带的合格证上查到。由于它的透雾能力特别强常用作有雾导航灯，广泛用于机场、车站、码头。

气体避免接触火花、电流、电弧、必要的还要加装防静电装置，氧化性气体避免接触油污、材料、使用管道要彻底无油，有***体使用时不可放在屋内，要有专门的气体放置区，腐蚀性气体要避免人员接触，气体储存区要严禁明火、严禁吸烟。制氮机是以空气为原料，以碳分子筛为吸附剂，运用变压吸附原理，使充满微孔的碳分子筛对气体分子有选择性的吸附来获得纯度为98～99。气体和氧化性气体使用时使用人员千万不可自己混合，如需混合气体需有技术条件的厂家来提供。