真空设备检漏

设备及密封器件的微小漏隙进行***、定量和定性检测的专用检漏仪器。它具有性能稳定、灵敏度高、操作简便，检测迅速等特点，是在真空检漏技术中用得普遍的检漏仪器，

其测量工作原理如下。氦质谱检漏仪是根据质谱学原理制成的磁偏转型的质谱分析计，用氦气作为示漏检测气体制成的气密性质谱检漏仪器。其结构主要由进样系统、离子源、质量分析器、收集放大器、冷阴极电离真空计等组成。离子源是气体电离，形成一束具有特定能量的离子。世界领1先水进的声学技术真空打检机/真空检漏机当容器经过探头时，探头在容器顶部施加一个“非接触式”的敲击动作，使容器顶部发出声音，不同真空度的容器会发出不同的声音，***的声学技术根据声音来判断容器是否发生泄漏。质量分析器是一个均匀的磁场空间，不同离子的质荷比不同，在磁场中就会按照不同轨道半径运动而进行分离，在设计时只让氦离子飞出分析器的缝隙，打在收集器上。收集放大器收集氦离子流并送入到电流放大器，通过测量离子流就可知漏率。冷阴极电离真空计指示质谱室的压力及用作保护装置。

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真空设备检漏与维修

为什么要检漏

泄漏和密封相对应

很多情况下，我们需要密封住一定的空间，防止气体或液体在压力的作用下，流进或流出这个空间。如真空设备（真空镀膜机，液晶注入机，PVD，半导体外延等等），需要在真空条件下工作，要求在工作时，空气不能漏进工作腔体，否则生产不能进行，或者产生次品，浪费人力物力。另外装液体或气体的容器（液压气瓶，氧气瓶，空调冰箱中的雪种容器等等），要求在容器内外存在压差的情况下，不能有气体或液体漏出。客户也可以直接使用氢气检漏仪进行高灵敏的检漏以避免温度变化带来的对压降法检漏的影响。如果有漏，后果严重，一般会造成有效物资的浪费，如***物资、腐蚀性气体漏出，甚至会酿成事故。

这些对密封性有要求的产品或设备，在投入使用前，就要***行检漏，使用中也要定期进行检漏检查。

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随着压力容器出口产品的增加及各制造企业对产品质量的重视，氦质谱检漏方法在我国的压力容器制造业中的应用也逐年递增。氦质谱检漏方法（以下简称氦检）以其高灵敏度和准确性而通常应用于整体防漏等级较高的压力容器上。氦检方法基本上可分为用氦气内部加压法和设备内部抽真空外部施氦这两种，由于后者需将设备完全抽成真空状态,往往会增加试验用设备（如高、低压真空泵、真空阀等）和设备工装（如外压加强圈）而使造价提高，所以该方法通常用于容积小而厚壁的设备；对于大多数压力容器而言，通常优先选用种方法。工程安装维护商可以采用手持式氮氢检漏仪(有带气瓶/表组的套装产品供选择)，在现场需要查找系统漏点时，先排空制冷剂，然后逐段充注5%氢+95%氮的示踪气体，用手持式氮氢检漏仪进行巡检式查漏。

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氦气

氦气穿透能力强，且易，对漏点有很好的检出能力，可让细微小洞无处可逃。氦气检漏就是采用氦气来检查电子元器件封装管壳上的小漏洞。因为氦原子的尺寸很小。用氦气穿过小洞而进入到管壳内部，氦气检漏方法能够检测出尺寸很小的小洞，灵敏度可与性检漏方法匹敌，但要比性检漏方法简便。如真空设备（真空镀膜机，液晶注入机，PVD，半导体外延等等），需要在真空条件下工作，要求在工作时，空气不能漏进工作腔体，否则生产不能进行，或者产生次品，浪费人力物力。氦气检漏方法：首先把封装好的元器件放入充满氦气的容器中，并加压，让氦气通过小洞而进入管壳中；然后取出，并用压缩空气吹去管壳表面的残留氦气；接着采用质谱仪来检测管壳外表所漏出的氦气。