真空设备检漏与维修

为什么要检漏

泄漏和密封相对应

很多情况下，我们需要密封住一定的空间，防止气体或液体在压力的作用下，流进或流出这个空间。检漏的任务就是在制造、安装、调试过程中，判断漏与不漏、泄漏率的大小，找出漏孔的位置。如真空设备（真空镀膜机，液晶注入机，PVD，半导体外延等等），需要在真空条件下工作，要求在工作时，空气不能漏进工作腔体，否则生产不能进行，或者产生次品，浪费人力物力。另外装液体或气体的容器（液压气瓶，氧气瓶，空调冰箱中的雪种容器等等），要求在容器内外存在压差的情况下，不能有气体或液体漏出。如果有漏，后果严重，一般会造成有效物资的浪费，如***物资、腐蚀性气体漏出，甚至会酿成事故。

这些对密封性有要求的产品或设备，在投入使用前，就要***行检漏，使用中也要定期进行检漏检查。

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氦气

氦气穿透能力强，且易，对漏点有很好的检出能力，可让细微小洞无处可逃。由于氢分子移动速度要高于其他分子，因此使用安全的低浓度氢气作为示踪气体，可以有着更快的响应速度和更好的检漏精度。氦气检漏就是采用氦气来检查电子元器件封装管壳上的小漏洞。因为氦原子的尺寸很小。用氦气穿过小洞而进入到管壳内部，氦气检漏方法能够检测出尺寸很小的小洞，灵敏度可与性检漏方法匹敌，但要比性检漏方法简便。氦气检漏方法：首先把封装好的元器件放入充满氦气的容器中，并加压，让氦气通过小洞而进入管壳中；然后取出，并用压缩空气吹去管壳表面的残留氦气；接着采用质谱仪来检测管壳外表所漏出的氦气。

氢冷汽轮发电机

(1)、电机内维持氢的纯度为97％时，其密度只有空气的十分之一，所以电机的通风损耗及转子表面对气体的摩擦损耗都大大减小。

(2)、氢的导热系数为空气的6.69倍，它可以使绝缘内间隙及其它间隙的导热能力改善，从而有利于加强发电机的冷却。

(3)、由于氢气的表面散热能力强(纯度为97％的氢气表面散热系数约为空气的1.35倍)，发电机的损耗可由氢气很快带走。因此，能使发电机的出入口风温差降低10～15℃左右。增加氢压还可使散热能力按压力的0.8次方增加。

(4)、经过严格处理的冷用氢气可以保证发电机内部清洁，通风散热效果稳定，而且不会产生由于脏污引起的事故。