真空设备检漏与维修

为什么要检漏

泄漏和密封相对应

很多情况下，我们需要密封住一定的空间，防止气体或液体在压力的作用下，流进或流出这个空间。如真空设备（真空镀膜机，液晶注入机，PVD，半导体外延等等），需要在真空条件下工作，要求在工作时，空气不能漏进工作腔体，否则生产不能进行，或者产生次品，浪费人力物力。同时，由于氢气在一般环境中的含量浓度都非常低，所以不会因本底污染而导致误报警。另外装液体或气体的容器（液压气瓶，氧气瓶，空调冰箱中的雪种容器等等），要求在容器内外存在压差的情况下，不能有气体或液体漏出。如果有漏，后果严重，一般会造成有效物资的浪费，如***物资、腐蚀性气体漏出，甚至会酿成事故。

这些对密封性有要求的产品或设备，在投入使用前，就要***行检漏，使用中也要定期进行检漏检查。

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便携式氢气检测仪

传感器模组整机体积小,重量轻；精选进口传感可随身携带随时检测，当进入如仓库、地下等可以随身携带检测。主要用于在不方便安装固定式以及不需要24检测的地方。充满电一次可使用12个小时左右，并且手感好舒适度佳。由于氢分子移动速度要高于其他分子，因此使用安全的低浓度氢气作为示踪气体，可以有着更快的响应速度和更好的检漏精度。可以搭载电化学，催化燃烧，红外原理，热导原理的传感器。高模拟电压或电流和串口同时输出，方便客户调试和使用。精密的电路设计和制造工艺，生产复杂，使用简单。可与电脑连接通讯，自行标定校准。，可异动电源供电可大量用于分析仪仪器，大气，环境监测。

发电机氢气系统

(1) 发电机氢冷系统及气体置换装置能满足发电机充氢、自动补氢、排氢及中间气体介质置换工作的要求，能自动监测和保持氢气的额定压力、规定纯度及冷氢温度、湿度、CO2纯度等。

(2) 发电机氢冷系统为闭式氢气循环系统，热氢通过发电机的氢气冷却器由冷却水冷却。

(3) 发电机氢气冷却器采用散热形式。

(4) 发电机设置氢气干燥器，除了监测发电机内氢气用的氢气湿度在线监测仪外，氢气干燥器的出口处也装设具有远传在线信号的非氢气湿度仪。干燥装置能保证发电机在额定条件下机内氢气不高于－5℃同时又不低于－25℃。氢气干燥器设有循环风机。

氢气检测仪特点

1． 氢气检测仪小巧、采用坚固的防爆外壳，具有防水型设计。2． 屏幕LCD液晶显示，可连续连续实时地显示气体浓度，需要背景灯时，可按下背景灯用键。真空设备检漏与维修为什么要检漏泄漏和密封相对应很多情况下，我们需要密封住一定的空间，防止气体或液体在压力的作用下，流进或流出这个空间。3． 具有很强的声、光、振动等3种报警功能。4． 采用可充电锂电池供电，待机可长达约一个月左右。5． 报警可有低限、高限、STEL和TWA等多种报警功能，并可据客户需求调整报警值。6． 自动零点与满量程标定等功能。