真空设备检漏与维修

为什么要检漏

泄漏和密封相对应

很多情况下，我们需要密封住一定的空间，防止气体或液体在压力的作用下，流进或流出这个空间。真空设备检漏设备及密封器件的微小漏隙进行***、定量和定性检测的专用检漏仪器。如真空设备（真空镀膜机，液晶注入机，PVD，半导体外延等等），需要在真空条件下工作，要求在工作时，空气不能漏进工作腔体，否则生产不能进行，或者产生次品，浪费人力物力。另外装液体或气体的容器（液压气瓶，氧气瓶，空调冰箱中的雪种容器等等），要求在容器内外存在压差的情况下，不能有气体或液体漏出。如果有漏，后果严重，一般会造成有效物资的浪费，如***物资、腐蚀性气体漏出，甚至会酿成事故。

这些对密封性有要求的产品或设备，在投入使用前，就要***行检漏，使用中也要定期进行检漏检查。

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气密检漏设备

1. 气密检漏设备检测产品有两种比较直观的产品，一种是使用测试气管直接连接产品的充气孔(产品自带充气孔)，再进密性测试，即采用直接检测方法，另一种是将产品放置在仿形模具内(根据产品外形定制)，对仿形模具内腔进行充气，然后进密检漏设备。

2. 选择上述不同两种方法检测产品的气密检漏设备。仅在气密检漏设备上选择相应产品的泄漏检测程序，程序根据产品的检测标准，提前设定充气时间、保压时间、检测时间、泄压时间及工装治具的基本检测动作。

3. 手动打开气密检漏设备或工装夹具的启动按钮，气密检漏设备自动进入检测环节，可在10-30秒内就能完成检测。

4. 检测时如果产品有大泄漏，即时被判定为不合格。如泄漏值在标准范围内，则合格。***值超出标准范围，即是不合格。

氢气纯度分析仪

可实时监测氢气、CO2的纯度。气体置换时主要通过气体纯度监测装置的样气进口来监控气体纯度；量程气进口只在置换时用，可实时调看供氢纯度或供CO2纯度。参比空气进口为调试时用。纯度仪回气排空

工作原理：

仪器由特殊设计的风机，压差交送器及压差计组成，实际则是风机产生的压差，但由于此压差值与气体的密度有关，而气体密度又直接与气体的成分成比例，故只要测出风机压差就等于测出了气体密度，实际上两只压差计是直接按密度和纯度标注的。

氢气管道

在氢气管道方面，氢气管采用无缝钢管制成;管道和管件采用焊接连接，以减少可能的泄漏点。氢气检漏法在制冷、空调的应用和展望今天，在世界各地许多制冷、空调客户正在使用各种不同型号的氢气检漏仪。管道与设备的喷嘴、阀门等采用法兰或螺纹连接，并在连接中使用金属丝并定期检查粘接电阻，设备或管道端部是否接地良好;所述管道上设有空管、取样口和吹扫口，其位置满足管道中气体吹扫和更换的要求，系统上设有含氧量小于0.5%的氮气置换吹扫设施;氢气排气管应导至室外，排气口应高于屋顶高处1m以上。在排气口设置阻火器，防止外部火花进入系统造成事故，并采取防护措施，防止雨雪***、碎片堵塞、雷击。