氦质谱检漏仪的工作原理
今天科仪的小编和大家分享的是氦质谱检漏仪的工作原理,希望对您有所帮助!
氦质谱检漏仪是一种以氦气作为示漏气体专门用于检漏的质谱分析仪器。其基本工作原理是采集被检件中的气体样品并将其电离,根据不同种类气体离子质荷比不同的特点,利用磁偏转分离原理将其区分开来。仪器对其示漏气体氦气有响应信号,而对其他气体没有响应,从而检漏。耐压要求:对产品加压到实验压力,保压一段时间,降到常压,经检查无泄漏和异常变形。
氦质谱检测仪的标准器选择
北京科仪真空技术有限公司***生产氦质谱检漏仪,今天科仪的小编就大家来分享一下氦质谱检漏仪的标准器的选择,希望对大家有所帮助!
标准器 采 用 渗 氦 型 标 准 漏 孔,漏 率 标 称 值 在( 10 - 6 ~ 10 - 10 ) Pa·m3 /s,不确定度不大于 10% 。
精密玻璃温度计,测量范围(0 ~ 50) ℃ ,不确定度 U = 0. 04℃ ,k = 2。
检漏仪的优点
1、多种语言和计量单位选择,可选中文界面。
2、135o 电离偏转 (自然聚焦点)的全新质谱技术,金属密封结构。
3、新的电子线路及信号处理设计。
4、小可检漏率高、灵敏度覆盖范围可达12个量程。
5、快速清氦和快速响应。
6、测试口耐压高,可实现大漏检漏。
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氦质谱检漏仪
(1)新的仪器对空气和残余气体的读数是零,仅对示踪气体有响应。(2)新的仪器本身也是一个抽速较高的真空系统。(3)仪表的指示能够反映出漏孔的大小, 漏量的大小。这三点要求实际上构成了研制新型检漏仪器的准则。在研制过程中, 对传统的检漏方法、光谱仪和皮喇尼规进行了考察。发现在实际运用中都存在着不少的缺点。当时,明尼苏达州州立大学的尼尔博士正在研制一种可以记录分子量和原子量大小的质谱仪。经过分析, 雅可比认为如果尼尔博士能够使仪器简化, 那么质谱仪将是一种好的选择性检漏装置。当时还论证了新型检漏装置的示踪气体必须满足三个要求(1)系统的残余气体的质潜中没有它的谱线。即便仪器处于大气环境,这种气体在仪器中也几乎不存在。(2)能够在试验状态下很容易地把它从系统中抽出, 所用的示踪气体不会污染系统。(3)分子量低、粘度低、购置方便。显然,氦气是满足这三个要求的理想的气体。这一检漏方式是基于分子泵对不同质量的气体具有不同压缩比(气体在分子泵出气口压强与进气口压强之比)即利用不同气体的逆扩散程度不同程度而设计的。
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