真空设备检漏与维修

为什么要检漏

泄漏和密封相对应

很多情况下，我们需要密封住一定的空间，防止气体或液体在压力的作用下，流进或流出这个空间。氢气检漏法检测灵敏度高、节约成本、操作简便，将是以后检漏技术的发展趋势。如真空设备（真空镀膜机，液晶注入机，PVD，半导体外延等等），需要在真空条件下工作，要求在工作时，空气不能漏进工作腔体，否则生产不能进行，或者产生次品，浪费人力物力。另外装液体或气体的容器（液压气瓶，氧气瓶，空调冰箱中的雪种容器等等），要求在容器内外存在压差的情况下，不能有气体或液体漏出。如果有漏，后果严重，一般会造成有效物资的浪费，如***物资、腐蚀性气体漏出，甚至会酿成事故。

这些对密封性有要求的产品或设备，在投入使用前，就要***行检漏，使用中也要定期进行检漏检查。

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真空设备检漏

一个真空系统，经相当长时间抽气之后，仍然达不到预期的真空度，可能的原因有:抽气情况不良，即抽气系统本身的问题。与氦气相比，使用低密度的安全氢气作为检漏用的示踪气体具有很多优势。放气，即真空系统或容器内部存在气体或气源。漏气，即真空系统或被抽容器存在漏孔或缝隙。至于漏气是检漏技术所要解决的问题，即准确检出漏孔并加以修补。常规检漏内容包括:用适当的方法判断真空系统中漏气问题是否存在。确定漏气率。找出泄漏部位，以便修补堵漏。

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氦气检漏仪进行氦气检漏方法操作：

1、抽真空至5Pa以下就可以开始检测；

2、插上检漏仪电源，关闭上部手动挡板阀，开启检漏仪总电源，此时，“放气”灯亮起，等待系统运行；

3、当“系统正常”及旁边的两个灯都显示为绿色时，观察预置参数，应为10-15，一般取15，观察数值，应为10的-8至-9次方时，可以开始氦气检漏（等待几分钟）；

4、按“检漏”键，缓慢开启顶部手动挡板阀，注意：检漏口的压强不得超过10MPa,否则机器易损坏；

5、数值稳定后，先记录下来，这就是“本底”；

6、逐个将氦气充入焊缝，并封堵插入口，将数值变动记录下来。全部完成充氦气后再观察20分钟，看数值有无大的变动。

7、关机时，应先关闭上部手动挡板阀，然后开启放气键，关电源。

氢冷汽轮发电机

(1)、电机内维持氢的纯度为97％时，其密度只有空气的十分之一，所以电机的通风损耗及转子表面对气体的摩擦损耗都大大减小。

(2)、氢的导热系数为空气的6.69倍，它可以使绝缘内间隙及其它间隙的导热能力改善，从而有利于加强发电机的冷却。

(3)、由于氢气的表面散热能力强(纯度为97％的氢气表面散热系数约为空气的1.35倍)，发电机的损耗可由氢气很快带走。因此，能使发电机的出入口风温差降低10～15℃左右。增加氢压还可使散热能力按压力的0.8次方增加。

(4)、经过严格处理的冷用氢气可以保证发电机内部清洁，通风散热效果稳定，而且不会产生由于脏污引起的事故。