真空设备检漏

氦质谱检漏仪实际上可以说是一个检氦仪，通过检测氦气的含量来确定是否有泄漏。而对氦的检测则使用的是质谱仪，是只检测氦的专用质谱仪，这种质谱仪将其它质量数的气体都屏蔽掉了。质谱仪要想正常工作，需要真空环境。至少要在 10-3 mbar 以下，空气的流动才体现为分子流，质谱仪才能稳定正常工作。氢氮混和气检漏法已在国内外广泛应用于制冷、空调、汽车零部件、发动机、变速箱、减速机、阀门、***包装、飞机油箱油路及其他密封件或管路检漏。所以检漏仪中还有一套高真空系统。

并预先根据环境中氦的含量对检漏仪进行标定。若需在抽真空方式下准确地找到漏孔的

位置，可以通过对可yi位置喷氦并检验漏率是否有明显的上升来完成。

与抽真空方式相反，嗅探方式是通过测量待测器件内部气体经由器壁漏孔泄漏至器件外面的氦的多少来获得漏率的大小的。预先向待测器件内充入一定氦气，

封闭测试端口，将嗅探探头连接至检漏仪，用嗅探探头对待测器件表面的可yi部位进行扫描。如果发现漏率明显的上升，便可判断漏孔的位置。这种方式适合在待测器件内部无法或者不能抽真空的情形下检漏。但是，由于嗅探方式是通过检测器壁外的大气来进行测量的，大气中的氦会带来一个较高的漏率本底。而对氦的检测则使用的是质谱仪，是只检测氦的专用质谱仪，这种质谱仪将其它质量数的气体都屏蔽掉了。这个本底虽可通过置零来清除，但仍会降低嗅探方式的灵敏度（嗅探方式xiao可检测漏率小于5×10－6Pa·L/s，而抽真空方式的小于5×10－10Pa·L/s）。

氢气系统

氢气汇流排

发电机产生的热量通过氢气耗散，氢气的散热能力相当于空气的8倍。为了获得更加有效的冷却效果，发电机中的氢气是加压的。

氢气来自***制氢站，通过软管与汇流排连接。减压阀将氢压减至所需压力，然后送到氢气控制装置再减压至发电机所需的压力。

二氧化碳汇流排

为了防止氢气和空气混合成性的气体，在向发电机充入氢气之前，必须要用二氧化碳将发电机内的空气置换干净。同理，在发电机停机排氢后，也要用二氧化碳将发电机内的氢气置换干净 。

氢气干燥器系统

氢气干燥器用于干燥发电机内的氢气，以防机内水分过高时，对发电机的高压绝缘件或高应力金属结构件产生危害。

干燥器由二个干燥塔组成，塔内装填有干燥剂和加热元件，一个工作时，另一个加热再生。每个塔内都装有一台循环风机，连续工作。工作塔内的风机用以加大气体循环量并使气体在干燥剂内分布均匀；再生塔内的风机用以循环再生气体，迫使再生气体经过冷凝器、气水分离器等，使干燥剂内吸附的水分分离出来。氢气干燥器的工作和再生过程由内建PLC控制，完全自动进行。由于是闭式循环，所以不消耗氢气，也不会引入空气。3MPa，周围非常安静的条件下，可以听出5′10-2cm3/s的泄漏率的声音。为提高可靠性，干燥器从氢气中分离出出来的水分需人工排放。