真空检漏

超声波法

该方法实际上是听音法的一种。氦质谱检漏仪是根据质谱学原理制成的磁偏转型的质谱分析计，用氦气作为示漏检测气体制成的气密性质谱检漏仪器。它是将泄漏声音中可听频率部分截掉，仅仅使超声波部分放大，以检测出泄漏。检测时，可以直接使用超声波检测器，根据检测仪表指针是否摆动，确定有无泄漏。也可以采用使超声波回到可听频率范围内鸣笛的方法。采用后一种原理制造的超声波转换器不仅在被试验物加压时可以使用，在抽真空时，由于吸入的空气发出超声波，因而，采用真空法时也可以使用。

超声波转换器由于只检测超声波部分，在普通工厂的噪音条件下，不受明显干扰，因此检漏效果很好。

该法的灵敏度与被试验物体的加压、减压状况、泄漏的大小、泄漏点与检漏器（探头）间的距离等因素有关。当泄漏点与探头距离很近时，超声波转换器的灵敏度可达1′10-2cm3/s。

检漏时将检漏器的灵敏度调到较大，一边移动探头，一边侦听，使能听到的超声波发出的声音达到较大。使用听诊qi，某种程度上可以消除周围噪音的影响，听清泄漏声音，但有时与泄漏无关的声音（例如电机的声音）也会混杂进来，从而影响检漏灵敏度。然后，再寻找发出超声波的位置，以便确定泄漏点。但在探头不易接近的地方出现泄漏时，就很准确地判断出泄漏点。这种方法操作简便，人为因素较小，不同检测人员所得到的检测结果基本相同。

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真空设备检漏与维修

随着压力容器出口产品的增加及各制造企业对产品质量的重视，氦质谱检漏方法在我国的压力容器制造业中的应用也逐年递增。其结构主要由进样系统、离子源、质量分析器、收集放大器、冷阴极电离真空计等组成。氦质谱检漏方法（以下简称氦检）以其高灵敏度和准确性而通常应用于整体防漏等级较高的压力容器上。氦检方法基本上可分为用氦气内部加压法和设备内部抽真空外部施氦这两种，由于后者需将设备完全抽成真空状态,往往会增加试验用设备（如高、低压真空泵、真空阀等）和设备工装（如外压加强圈）而使造价提高，所以该方法通常用于容积小而厚壁的设备；对于大多数压力容器而言，通常优先选用种方法。

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真空设备检漏

氦质谱检漏仪实际上可以说是一个检氦仪，通过检测氦气的含量来确定是否有泄漏。以上是由北京科仪创新真空技术有限公司发表内容，如有需要，欢迎拨打图片上的***电话。而对氦的检测则使用的是质谱仪，是只检测氦的专用质谱仪，这种质谱仪将其它质量数的气体都屏蔽掉了。质谱仪要想正常工作，需要真空环境。至少要在 10-3 mbar 以下，空气的流动才体现为分子流，质谱仪才能稳定正常工作。所以检漏仪中还有一套高真空系统。

并预先根据环境中氦的含量对检漏仪进行标定。若需在抽真空方式下准确地找到漏孔的

位置，可以通过对可yi位置喷氦并检验漏率是否有明显的上升来完成。

与抽真空方式相反，嗅探方式是通过测量待测器件内部气体经由器壁漏孔泄漏至器件外面的氦的多少来获得漏率的大小的。预先向待测器件内充入一定氦气，

封闭测试端口，将嗅探探头连接至检漏仪，用嗅探探头对待测器件表面的可yi部位进行扫描。5%氢气与95%氮气的混合气体是不可燃的(ISO10156国际标准)，***性和腐蚀性，也不会对设备和环境产生不利影响。如果发现漏率明显的上升，便可判断漏孔的位置。这种方式适合在待测器件内部无法或者不能抽真空的情形下检漏。但是，由于嗅探方式是通过检测器壁外的大气来进行测量的，大气中的氦会带来一个较高的漏率本底。这个本底虽可通过置零来清除，但仍会降低嗅探方式的灵敏度（嗅探方式xiao可检测漏率小于5×10－6Pa·L/s，而抽真空方式的小于5×10－10Pa·L/s）。