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作者:科仪创新真空2022/2/22 4:05:40






氦质谱检漏仪

氦质谱检漏仪(Helium Mass SpectrometerLeakDetector)为气体工业名词术语,用氦气或者氢气作示漏气体,以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低,分子量及粘滞系数小,因而易通过漏孔并易扩散;由于探头寿命直接和使用条件和频次相关,因此较难预计准确的更换时间。另外,氦系惰性气体,不腐蚀设备,故常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪(调整到仅对氦气反应的工作状态)的被检容器上,若容器有漏孔,则分析仪即有所反应,从而可知漏孔所在及漏气量大小。

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氦质谱检漏仪的注意事项

检漏仪的响应时间会影响检漏工作的速度,正常运行的仪器响应时间不大于3s。笔者实测时,在漏点处喷射氦气5~10s后,检漏仪就发生响应,对于如此庞大的真空系统,其反应是相当的灵敏。

检漏时喷枪在漏孔处停留的时间应为仪器响应时间的3倍,该时间再加上氦气在真空系统中的传递时间,即为两次喷氦的较小间隔时间,当然真空系统越庞大,该间隔时间也越长。笔者根据实测经验,两次喷氦的较小间隔时间控制在30s左右,即如果次喷氦后30s内检漏仪还没有反应,则可进行第二次喷氦。今天科仪创新的小编就和大家分享一下氦质谱检漏仪的主要配置有哪些,希望对您有所帮助。

清除时间在理论上与响应时间相同,但由于仪器零件对氦的吸附和脱附作用的影响,清除时间一般要更长些。笔者测算,在测试到数量级为10-9P a ?m3/s的微漏漏点时,清除时间约须1分钟;在测试到数量级为10-8P a ? m3/s的中漏漏点时,清除时间约须2分钟;其基本工作原理是采集被检件中的气体样品并将其电离,根据不同种类气体离子质荷比不同的特点,利用磁偏转分离原理将其区分开来。在测试到数量级为10-7Pa?m3/s的大漏漏点时,清除时间在3分钟左右。

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氦气检漏的主要技术性能

1.真空箱尺寸根据电芯尺寸确定;

2.一般为三箱联动系统,生产节拍可满足单台6PPM—12PPM;

3.开门方式,可根据用户生产工艺要求来设计,一般为平开门式、滑台合箱式;

4.上下料采用机械手或机器人,正常生产时设备无需人工操作;

5.系统配置二维码扫描装置,可将每个电芯的检测数据对应存储;

6.具有清氦功能

7.具有氦气回收功能(此功能可选)

8.自动判断,并对应放置(即不合格品放于不合格线,合格品放于合格线)

9.可通过触摸屏设置不同等级密码,更改设备参数;

10.人机交互界面,触摸屏实时反映运行状态和测试数据;

11.故障统计功能

12.系统采用配置和标准化设计制作,确保运行稳定,性能可靠。

今天和大家分享的是氦气检漏的性能指标,想了解更多产品信息您可拨打图片上的电话进行咨询!








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