




净化工程
在一定空间范围内,将空气中的微粒子、***空气、xi菌等污染物排除,并将室内温度、洁净度、压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内的工程学科。净化工程静电问题静电放电引起的******的灾害是成为可燃物的火源井引起炸,例如国外文献统计,在***室使用炸性ma醉剂的86000次中,炸的36次,其中由静电引起的达21次。净化工程所特别设计的房间,不论外在空气条件如何变化,室内均具有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能。
乱流洁净室的主要特点是从来流到出流(从送风口到回风口)之间气流的流通截面是变化的,洁净室截面比送风口截面大得多,因而不能在全室截面或者在全室工作区截面形成匀速气流。过滤器的处理风量应小于或等于额定风量,设置在同一洁净区内的gao效(亚gao效、超gao效)空气过滤器的阻力、效率宜接近。所以,送风口以后的流线彼此有很大或者越来越大的夹角,曲率半径很小,气流在室内不可能以单一方向流动,将会彼此撞击,将有回流、旋涡产生。这就决定乱流洁净室的流态实质是:突变流;非均匀流。
洁净厂房设计规范:洁净厂房内各洁净室的空气洁净度等级的确定,应符合下列要求:
一、洁净室内有多种工序时,应根据各工序的不同要求,采用不同的空气洁净度等级。
二、在满足人生产工艺要求的前提下,洁净室的气流组级别,宜采用局部工作区空气净化和全 室空气净化相结合的形式。
1、层流洁净室和乱流洁净室以及运行班次和使用时间不同的洁净室,其净化空气调节系统均宜分开设置。P#iyQ9yYu5s_A
2、洁净室内的计算温、温度、应符合下列规定:
(1)满足生产工艺要求
(2)生产工艺无温、湿度要求时,洁净室温度为20~26度,温度70度。
净化车间工程在设计中,每一个设备都考虑一定地位,包括设备本身所占地位,操作地位,设备地位,设备检修拆装地位以及设备与设备、设备与建筑物的安全距离。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离,以避免机器维修时影响了工作及品质,ULSI制程大都采用此种型式。设备布置应考虑为操作工人管理多台设备或多种设备创造条件,不宜过紧或过松,应尽量对称紧凑,排列整齐,充分利用空间。设备的自动监测仪表要集中控制,阀门控制尽量集中,便于工人操作。设备能顺利进出车间的要求,通过楼层的设备,楼面上要设置吊装孔。
净化车间工程jiao囊剂是将填装于空心硬质jiao囊中或密封于弹性软质jiao囊中而制成的固体制剂;

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