在渗氮零件的整个制造过程中，渗氮往往是后一道工序，至多再进行精磨或研磨。渗氮零件的工艺流程一般为:锻造→正火(退火)→粗加工→调质→精加工→去应力→粗磨→渗氮→精磨→装配。

氮化前的预热处理包括正火(退火)、调质处理、去应力。

a.正火(退火)，其目的是细化晶粒、降低硬度、消除锻造应力。

b.调质处理，可以改善钢的加工性能，获得均匀的回火索氏体***，以保证零件心部有足够的强度和韧性，同时又能使渗氮层和基本结合牢固。

c.去应力处理，对于形状复杂的精密零件，在渗氮前应进行1~2次去应力，以减少渗氮过程中的变形。

液氮浸泡式制冷：

这种方式就是将工件直接放到装有液氮的容器中，使工件骤冷至液氮温度，并在此温度下停留一段时间，后深冷处理设备复温而完成整个深冷处理过程。必须有强而韧的心部***作为渗氮层的坚实基底,才能发挥渗氮的作用。深冷处理的研制前期都是采用液氮浸泡式方法进行深冷处理的。由于这种深冷处理工艺简单方便，应用较为广泛。但是，这种方法的降温速度较快，导致热应力过大，容易对工件材料造成***损害，而且工件材料在降温过程中降温速度是不可控制的，进而影响工艺的可调性。

对于钢铁材料，零件淬火后，马氏体***中存在存在一定量的残余奥氏体，尤其是马氏体转变温度较低的材料，残余奥氏体可能多达10%以上。残余奥氏体是一种不稳定***，可以逐步转变成马氏体。热处理是指材料在固态下，通过加热、保温和冷却的手段，以获得预期***和性能的一种金属热加工工艺。奥氏体转变成马氏体体积会变大，造成零件尺寸的变化。同时，奥氏体的机械性能也不稳定。深冷处理就是将淬火后工件置入较低温度的环境中（比如5℃以下的冷水中），促进残余奥氏体向马氏体的转变，以提高材料性能。一般比较重要的零件才会采用深冷工艺，比如精密量具，精密轴承等。