蒸发电极金属退火
蒸发电极金属以后需要进行退火,使得半导体表面与金属能够形成合金,以接触良好(减小接触电阻)。这时的退火温度要选取得稍高于金属-半导体的共熔点(对于Si-Al合金,为570度)。
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1加入合金元素提高钢基体的电极电位从而提高钢的抗电化学腐蚀能力。一般
住钢中加入Cr、Ni、Si多元素均能提高其电极电位。由于Ni较缺Si的大量加入会使钢
变脆因此 只有Cr才是显著提高钢基体电极电位常用的元素。
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Cr 能提高钢的电极电位但不是呈线性关系。实验证明钢的电极电位随合金元素的
增加存在着一个量变到质变的关系遵循1/8规律。当Cr含量达到一定值时即18原子
l8、28、3/8……时 电极电位将有一个突变。因此几乎所有的不锈钢中Cr
含量均在12.%5原子以上即11.7%质量以上。
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