氧化铝材料的特性:
由于氧化铝绝缘性(1015Ωcm)高,常被用于处理舱的绝缘产品。做为精密陶瓷零件使用时于金属以及树脂材料相比其有比较高的弯曲强度故不易发生弯曲,氧化铝精密陶瓷零件的厚度可实现较薄的形状。
其他领域的推荐用途:
大型氧化铝陶瓷零件(3M以上的陶瓷零件)和中空化陶瓷零件产品(不使用任何粘结剂的管状产品)也可对应,可以应用于直径450mm晶圆制造设备以及G10液晶基板制造设备等需要大型化精密陶瓷零件的领域使用。
具有高精度工作面的氧化铝陶瓷零件毛细管
应用 电子工业 芯片焊接工具
材料 三氧化二铝Al2O3 / 氧化锆ZrO2
重量 [g] 0.061
公差 [mm] ±0.001
特性 高精度几何表面
精密陶瓷零件可用于医i疗、制药、电子或类似喷气工业设备上的陶瓷零件喷嘴,例如点胶针或导线管。陶瓷零件烧结技术要点和公差:外圆与孔的同心度< 0.003 mm,孔的公差 < 0.002 mm,圆度< 0.001m,孔径 < 0.012 mm,
精密陶瓷导线管
应用 半导体行业
材料 Al2O3 99.99%
重量 [g] 0.31
公差 [mm] ±0.01
特性 半透明
烧结后的氧化锆陶瓷坯体发生的主要原因在于陶瓷坯体内部有缺陷,同时也与坯体收缩有关,而坯体收缩不一致的原因参见烧结变形原因分析。
当收缩不一致时,如果存在缺陷(孔洞、暗裂等),其缺陷成为断裂源,裂纹扩散导致坯体开裂。
三、晶粒异常长大
当晶粒出现异常长大时,这些过大的晶粒内往往还有大量的气孔难以再由晶粒内抵达晶界而排出,就会使氧化锆陶瓷材料难以达到较高的密度,材料的许多性能恶化,特别是力学性能(断裂韧性、抗弯强度等)。
导致晶粒异常长大的主要原因有以下三点:
①原始粉料颗粒尺寸分布范围太宽,即粉料中颗粒大于或远大于平均颗粒晶粒尺寸的2倍;
②成型时坯体密度不均(粉体团聚、素坯压制压力有梯度、添加剂不匀),烧结发生了不均匀的致密化;
③过高的烧结温度与过长的保温时间。
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