物流

洁净室内的设备和物料出入口，应***设置，并应根据设备和物料的特征、性质、形状等设置净化用室及相应的物净设施。

物料净化用室与洁净室之间应设置气闸室或传递窗。

静压差

不同等级的洁净室之间的静压差应大于等于5Pa。

洁净室与非洁净室之间的静压差应大于5Pa。

洁净室与室外的静压差应大于10Pa。

净化原理

气流→初效净化→加湿段→加热段→表冷段→中效净化→风机送风→管道→净化风口→吹入房间→带走尘埃***等颗粒→回风百叶窗→初效净化重复以上过程，即可达到净化车间目的。

送风机可按净化空气调节系统的总送风量和总阻力值进行选择，中效、空气过滤器的阻力宜按其初阻力的两倍计算。

净化工程中净化空气调节系统除直流式系统和设置值班风机的系统外，应采取防止室外污染空气通过新风口参入净化车间内的防灌倒措施。

净化空气调节系统设计应合理利用回风，凡工艺过程产生大量***物质且局部处理不能满足卫生要求，或对其他工序有危害时，则不应用回风。

气流→初效净化→空调→中效净化→风机送风→管道→＊净化风口→吹入房间→带走尘埃***等颗粒 → 回风百叶窗→初效净化 重复以上过程，即可达到净化目的

净化参数  

换气次数：100000级≥15次；10000级≥20次；1000≥30次。压差：主车间对相邻房间≥5Pa  

平均风速：10级、100级0.3－0.5m/s；温度 冬季＞16℃；夏季 ＜26℃；波动±2℃。  

温度45－65％；GMP车间湿度在50％左右为宜；电子车间湿度略高以免产生静电。  

噪声≤65dB（A）；新风补充量是总送风量的10％－30％；照度300LX。