真空泵如何进行选择

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1、正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对亚有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。

2、真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。

真空泵的分类和性能

1、液环真空泵，带有多叶片的转子偏心装在泵壳内，当转子旋转时，把液体(水或油类)抛向泵壳形成与泵壳同心的液环，液环同转子上的叶片形成了容积周期性变化的几个小容积实现吸气、压缩和排气.由于液环起到压缩气体的作用故又称它为液体活塞真空泵。

2、罗茨真空泵，泵内装有两个相反方向同步旋转的双叶或多叶形的转子，转子间、转子与泵壳内壁之间均保持有一定的间隙。它属于无内压缩式的真空泵.按用途又分为湿式罗茨泵，直排大气式罗茨泵和机械增压泵等类型。

3、干式真空泵.目前所谓的干式真空，一般通用的说法是:能在大气压到10-2Pa的压力范围内工作的真空泵;在泵的抽气流道(如泵腔)中，不能使用任何油类和密封液体.排气口与大气相通，能够连续向大气中排气的泵，即称为干式真空泵。按其工作原理分，也有干式容积真空泵，如多级罗茨泵、多级活塞泵、爪型泵、螺杆泵、涡旋泵等;此外还有动传输式干式泵二如涡轮干式泵，离心干式泵等.这种泵的抽气不再有油的污染了，是近期开发研制较多的泵种。  

真空泵表面清洁的重要性

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在真它系统的暴露表面上单一层单分子层气体的气体里基本上就是一个无限的气源，这使真空泵处于满负荷工作状态。可见光的波长为5x10-5cm左右，而单分子层中分子之间的间隔为10-7cm。了解这一点可以更突出单分子层的微小程度。当装配真空系统时，必须用液体对其表面进行化学清洗，并要求清洗液在蒸发干燥后，其残留物完全可忽略不计。此外，用于清洗的液体的蒸气压必须足够高，以便在不太长的时间内可以挥发、干燥。