镀膜工艺流程中工艺参数的控制和对膜层沉积的影响:
烘烤温度:真空室抽气时烘烤有利于真空室和工件解吸已吸附的空气和水气,这是保证膜色调纯正的重要因素之一。要注意的是,我们的设备一般采用加热棒烘烤,以热电偶测温,热电偶的感温端位置不能靠近发热棒,否则不能反映炉内环境和工件的实际温度。
离子轰击:指利用高能高密度的金属离子流和ya离子流对工件进行离子轰击清洗,能有效去除工件表面的氧化物;但需注意工件温升过热退火和轰出表面缺陷。
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机械零件的失效多数是因为表面发生磨损、腐蚀。人们早就认识到,通过改变零件表面的成分结构,能有效的改变零件的性能,延长其寿命。01-100um,并以高达100m/s的速度在阴极靶表面随机运动,也可以利用磁场控制阴极弧斑的运动。阐述了几种常见镀膜工艺的特点,进行工艺比较,结合当前的实际应用对镀膜的应用做了一定的归纳和总结,对未来镀膜工艺进行展望。
磁控溅射:
原理:磁控溅射法被认为是镀膜技术中***成熟的Zn0:A1薄膜制备方法,通常分为直流溅射(DC)和射频溅射(IC)两种。该方法是利用高能粒子轰击靶材,使得靶材原子或分子被溅射出来并沉积到衬底表面的一种工艺。
优点:以溅射产率高、基片温升低、薄膜基底结合力好、装置性能稳定、操作控制方便等优点受到青睐,磁控溅射法可获得高度c轴取向,表面平整度高,可见光透过率较高及低电阻率Zn0:A1的薄膜。
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