目前掌握激光甲1烷气体探测芯片生产制造技术的***主要是加拿大、美国、日本、挪威等甲1烷激***体传感器芯片大规模量产，也意味着将实现国产替代进口芯片。事物都由原子构成，而不同元素的原子会吸收或释放不同频率（波长）的光。基态原子吸收能量就变成激发态原子，而激发态原子释放能量就变成基态原子。除了质谱仪就只有激***体分析仪了，但是质谱仪对仪器环境和气体预处理要求很高，它的日常维护也不简单，重要的是价格老贵。

我们必须承认，氦气与ya气相比，确实有比较高的电离率和较低的等离子体形成电压，但是它的分子重量较小。因此，氦保护气需要较大的流速。 510 1-1.2 He He用于保护膜暴光以及化学反应等领域。贮存器制造中的石板印刷已开始使用氟化ke激光 密封束激光混合气 。激***体传感器，可应用于低量程及全量程测量，其温度适应性可以达到工业级别标准

如果将氦（He）nai（Ne）激光作为1代气体激光，二氧化碳激光是第二代气体激光，在半导体制造领域将大量使用的氟化ke（KrF）激光，可称为第三代激光。我们必须承认，氦气与ya气相比，确实有比较高的电离率和较低的等离子体形成电压，但是它的分子重量较小。因此，氦保护气需要较大的流速。除了质谱仪就只有激***体分析仪了。