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作者:潽拓光电2022/9/5 15:11:11






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     EDWA*** EPX180L 半导体干式真空泵 EPX180L维修


爱德华EPX 180真空干泵

       Edwa*** EPX 系列支持清洁和轻 型半导体加工应用,如灰化/剥离和注入端点 站应用。EPX 系列以极轻、的 封装提供工具上泵送功能,可实现异常清洁的真空。EPX 泵 采用已获zhuanli的独特单轴再生 Holweck® 分级机构,能够从大气压抽空到小于 7 x 10-7Torr 的极限压力。EPX 泵能够以模块化组件 提供增强的性能,既可集成到制程工具,可以远程安装。重量43.5KG。






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   广州潽拓—Edwa*** EXT 涡轮分子泵和复合分子泵提供可靠的、无碳氢化合物的高真空和超高真空。EXT 使用多级轴流式涡轮机以及磁性陶瓷轴承,可为高临界前级线路压力制程提供无油、无振动的操作,同时将维护需求降至低。Edwa***爱德华nEXT200200D分子泵维修,Edwa*** nEXT200200D英国爱德华涡轮分子泵进气法兰口LF100/IOS100,出气法兰口KF25,抽速200 L/S,对应的控制器为Edwa*** EXDC160/Edwa*** EXDC80。








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      Edwa*** EXT 70H 80V 是英国爱德华真空为分析仪器专门设计的分子泵, Edwa*** EXT70H 80V 复合分子泵,是专为超高真空设计的








     Edwa*** EXT70H/EXT70Hi爱德华涡轮分子泵,爱德华EXT70Hi对应的控制器为: Edwa***  EXC120 , Edwa*** EXC80



广州潽拓光电科技有限公司主要从事半导体:(在半导体生产制造工艺中,分子泵广泛应用于光刻机、薄膜沉积设备、刻蚀设备、离子注入机等关键设备),,太阳能电池板等真空镀膜设备维修,销售,设计,开发及系统工程,软件开发,承接等,为广大客户提供Leybold、Pfeiffer、Alcatel、Agilent(Varian)、BOC Edwa***、Shimadzu、ULVAC、Osaka等分子泵维修技术服务。

涡轮分子泵有真空低能耗,气体输送能力强,循环时间短使用时间长的优点。在电子、半导体工业,包装、印刷、食品工业、塑料及橡胶工业、制药工业、***及实验室装置、物流技术、环保工程、汽车工程、木工机械等有着广泛的应用。我们承诺对国际一线品片分子泵及其驱动器维修及销售,各类PLC板,人机界面,各型号干泵油泵等维修工作,坚持如下服务:

 1.坚持使用原装进口巴顿陶瓷轴承保证。

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