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在高真空抽气过程的起始阶段，泵的很大的未经烘烤的内表面会吸附水，然后再在较低的压力下重新释放出来。这种效应在无阀门的系统中更为明显，因为它可能比未暴露在压力高于150Pa的空气环境的有阀门的系统吸附更多的水蒸气。系统停机时，先关闭高真空阀，如果有液氮冷阱的话，还要将冷阱加热。在冷阱达到平衡温度后，关掉前级管道阀，再切断涡轮分子泵电动机的电源，使分子泵的转子减速。

一般来说，泵转子完全停止需要十分钟或更长的时间。在分子泵转子减速期间，来自前级管道的碳氢化合物和涡轮分子泵的润滑油蒸气会迅速地向泵的进气口上方区域扩散。为了防止机械泵油蒸气和涡轮分子泵润滑油蒸气的返流，在切断涡轮分子泵电动机的电源后，要用一股干燥的反向气流对分子泵进行放气。

例如，应该在泵转子速度下降到很大转速的50%左右时，在泵进气口上方的某处或在转子组件上部连续充入气或氮气，直到泵内压力达到大气压。通过从阀门3（见图1）充入气体就可适当地完成这一操作。当涡轮分子泵以额定速度运转时，不应经常充入压力为大气压的气流。这样做对轴的寿命是不利的。当前级管道阀关闭后，即可关掉机械泵系统，并用放气阀对机械泵内进行放气。停机后应立即关掉冷却水以防止内部冷凝。在正常工作时，可把水温调节到略高于来消除泵体外部可能形成的冷凝物。

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有防护网保护，为什么还会有大块碎玻璃掉入泵内？原因：防护网，前级管道解决方法：优化系统设计6、真空度很好的情况下，分子泵油为何会返到前级管道？原因：油池或密封不良解决方法：检查油池7、正常使用下，为什么分子泵油池会出现裂纹或者变形原因：过热，负载大解决措施：检查冷却系，检查系统

分子泵中经常掉出顶丝、镙钉等物体，如M5的顶丝等，请问是否对分子泵的使用有影响？应如何解决？原因：应是偶尔发生的事情，可能是平衡中遗漏的平衡钉，对分子泵没有影响。解决方式：应是偶尔发生的事情，可能是平衡中遗漏的平衡钉，对分子泵没有影响。9、胶圈口分子泵要用多少卡钳，使用才安全？答：不作特殊限定，至少3个，按照法兰大小可选3、6、12、24等。

、变频器电源在什么情况下会造成程序丢失或者错乱？答：①电压不稳②强干扰③高压打火④认为11、分子泵噪音大如何界定？是否有合格标准，是多少？答：小于72db合格，噪音的大小不太好界定，需要仪器和特定的测试环境12、分子泵是否对冷却有明确要求？如风冷需要外界温度是多少？如水冷则对水有何具体要求？如未达到要求会出现何后果？答：注意水温和水流量，冷却不良会导致无故停机、碎泵、油变黑等。

超高真空抽气系统中的氢分压突然升高

1.泵体未经烘烤除气；

低于150℃长时间烘烤去气；

2.冷却水温过高或冷却系统故障使泵温升高。

冷却水温应低于14℃，运转中保证冷却系统正常工作。

油蒸汽返流

1.突然停电或停泵时，泵内没有及时充入干燥气体；

在泵转数降至很大转速的一半时，应及时充入干燥气体；

2.前级泵返流严重。

降低前级返油率。

谱拓不仅拥有全系列的混合轴承及全磁悬浮涡轮分子泵，同时还拥有各种旋片泵，干泵，谱拓泵，多级谱拓泵，氦质谱检漏仪，真空计，质谱仪等产品以及真空管件和系统解决方案。推出了一款全新涡轮分子泵TwisTorr305，它继承了TwisTorr系列分子泵超高真空、高压缩比、全无油润滑等优点，

氦质谱检漏仪质量范围很宽，不仅可检测氦气，而且能检测其它气体。分子泵排气系统取代扩散泵排气系统，不仅解决了油蒸气对质谱室的污染问题，而且对快速启动仪器和快速停机做出了很大贡献。氦质谱检漏仪中没有手动阀，现已采用自控阀自动调节运转时的误差。

同时用涡轮分子泵取代了油扩散泵，以消除可能造成的油返流。计算机技术也在检漏仪中获得应用。运转、控制和输出数据均由计算机自动操作完成。典型的示波器已由阴端射线管显像屏所代替。整个操作只须按各种按钮自动进行。还可以使用app远程操控检漏仪，并实时监控检漏仪显示漏率。

无论是用于研发的灵活可靠的系统，还是用于常规工业真空加工的热处理系统，或适合在车间中实时检测***的快速耐用的便携解决方案，都可提供相应的解决方案。：氦质谱检漏仪中分子泵与油泵有什么区别？现今，越来越多地改用大型涡轮分子泵或低温泵来代替油扩散泵系统，以防止油蒸汽的污染。因此，很近十几年来，涡轮分子泵在国内、外都得到了显著的改进和发展。