广州潽拓光电科技有限公司——广州Agilent分子泵服务商

TwisTorr 404 FS 涡轮分子泵特性可对轻质气体实现高压缩比，同时支持高气体流速，从而能够通过 DN100 法兰以 400 L/s 的抽速在极低的极限压力下运行，同时可用于高通量应用无烃运行，可确保真空系统洁净远程控制器可在距离 100 m 处进行操作。低振动和低噪音 (43 dB(A))，打造舒适的工作环境并且可以在敏感的实验环境下运行体积小巧，可安装在任何位置，有利于轻松集成免维护轴承，零运行成本通过 Vacuum Link 应用程序实现无线控制，以便随时随地进行泵的操作防辐射和防磁场设计，无嵌入式电子设备，可在强磁场和辐射环境下运行低电磁辐射，确保不会干扰工艺过程泵控制软件使灵活性、速度和简便性达到化，可在泵的操作条件下始终保持气体流量和压缩比

性能指标H2 压缩比3 x 106冷却方法Air coolingWater cooling前级管道法兰尺寸KF 25 NW前级耐压 — N210 mbar启动时间< 5 min噪音水平43 dB(A)工作位置Any建议采用的前级泵容量10 m3/h抽速 — Ar340 L/s抽速 — H2415 L/s抽速 — He505 L/s抽速 — N2380 L/s气体通量 — Ar、水冷3.3 mbar L/s；195 sccm气体通量 — N2、水冷6.2 mbar L/s；367 sccm极限真空<1 x 10–10 mbar标准和认证61326-1

61010-1

DIR 2006/42/CE

DIR 2014/35/EU

DIR 2014/30/EU

DIR 2011/65/EU法兰类型DN 100贮存环境温度-40 至 +70 °C运行环境温度+5 to +35 °C重量22.6 kg额定转速从 40.8 至 49.5 KRPM

安捷伦扩散泵特点维护简单，皮实耐用不爱坏扩散泵内部没有活动部件，与机械式真空泵的磨损失效不同，其工作失效的原因主要有泵油劣化、加热器损坏、喷塔被油垢污染等等。安捷伦扩散泵管状加热器和压紧结构设计，拥有很高传热效率的同时，又保证了泵油和加热器本身都没有过热点，泵油不容易裂解，加热器也不容易损坏；同时，精细的热传导和保温结构设计，也使热损失大大降低。

为了减少轴承因长期存放而造成的分布不均匀，安捷伦的分子泵控制器内置了“软启动”功能。如经过运输或者停泵的时间超过 2 个月，可以使用软启动功能启动分子泵，转速以阶梯方式缓慢加速，使得轴承润滑脂在低速阶段有充分时间重新均匀分布。如果存放时间超过 10 个月，建议送回维修中心，让分子泵在检测平台上按照既定程序加速（Re-channeling），磨合轴承。

CombiNEG系列采用安捷伦科技StarCell离子泵抽气单元和赛斯(Saes Groups)的烧结型非蒸散型吸气剂

对使用过的安捷伦扩散泵做过***的客户都会有一种印象，与别的扩散泵经常会结满黑黑的油垢不同，安捷伦的扩散泵喷塔往往在使用好几年后也非常干净，有客户甚至猜测安捷伦的扩散泵喷塔使用了类似不粘锅的涂层。其实，这主要是因为安捷伦扩散泵喷塔上防焦化挡板设计——在每一级喷嘴的上方，都会有一个与下面的喷塔点接触的罩子，该罩子的温度比喷塔低很多，所以，从上方滴下的油滴就不会落到高温的泵塔上焦化结垢，而是滴落在低温的挡板上，这就保证了安捷伦扩散泵的喷塔可以一直很干净，不用定期费时费力清洗

一般的检漏仪只能设置大于某一漏率的报警值。因此在系统检漏时，当分流比过大却没有设置相应的分流比，或者当检漏阀门关闭或堵塞时，就有可能错过泄漏。安捷伦 HLD 系列检漏仪可以同时设置大于某一漏率和小于某一漏率的报警值。这样，当检漏仪的漏率小于经验的本底值或者预先安装的标准漏孔的值时，就会触发报警。另外，在使用自动排序器模式进行密封元器件的检漏时，除了对漏率可以同时设置大于和小于某一漏率的报警值外（使用背压法检漏的器件，当泄漏很大时，检漏仪的读数反而会很小），还可以设置长粗抽时间和检漏时间，从而尽可能地避免系统污染、漏气、堵塞等带来的误报、漏报等