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在真空的世界里，也有一对不离不弃的“超级情侣”。我们习惯称这对超级伴侣为前级真空泵和高真空泵。前级泵必须满足特定的抽气速度和极限真空，并且可以持续的无故障长时间运行，高真空泵极限真空极高，只有分子泵才能有此能力。前级泵和分子泵相生相伴，在电子显微镜、质谱以及领域做出了的贡献，推动了科学仪器行业的飞速发展。

为什么分子泵和前级泵是天作之合？分子泵需要配置前级泵, 而不是直接在大气压下工作. 我们都知道涡轮分子泵必须在分子流状态下工作才能显示出它的优越性。分子泵输送气体应满足两个必要条件：1涡轮分子泵必须在分子流状态下工作；2分子泵的转子叶片必须具有与气体分子速度相近的线速度。具有这样的高速度才能使气体分子与动叶片相碰撞后改变随机散射的特性而作定向运动。分子泵的转速越高，对提高分子泵的抽速越有利；

在纯粹涡轮分子泵的情况下, 由于其分子流,需要的前级真空大约为为 5～10^-2mbar。所以需要前级泵来预抽，如果不预抽的话,直接启动分子泵, 由于形成的压缩比太大容易把分子泵叶片损坏，这就是为什么分子泵需要前级泵的主要原因。

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涡轮分子泵的工作原理，结构型式及其优缺点。

为了利用涡轮分子泵，获得清洁真空，国外多利用干式机械泵作其前级泵，构成无油的真空系统。然而，目前国内涡轮分子泵多以油封机械泵为其前级泵，构成了有油真空系统，如果操作不当，很难避免油蒸汽返流，对真空系统的污染。利用有油系统获得清洁真空，国内外都有一些有效防止返流的措施和成功的操作经验。

应用：当今，现代化的半导体行业中，越来越多地应用涡轮分子泵。如溅射、刻蚀、蒸发、注入、分子束外延、离子加工等设备都需要在真空环境下运行。又如电子显微镜，表面分析仪器，残余气体分析仪及氦质谱检漏仪等也经常使用涡轮分子泵来抽真空。此外，在宇宙模拟设备、核聚变装置、太阳能集热管镀膜生产线上也都改用大型涡轮分子泵或低温泵来代替油扩散泵系统，以防止油蒸汽的污染。

因此，很近十几年来，涡轮分子泵，在国内、外都得到了显著的改进和发展。在涡轮分子泵的应用日益增加干式的前级泵还没有大量普及和应用的情况下，有时还不得不用油封机械泵来作涡轮分子泵的前级泵。因此，针对这种现状，对涡轮分子泵的合理选用和正确操作是很重要的。

近日，真空推出了寿命更长、振动更小、噪声更低的新型涡轮分子泵，同时问世的还有真空专为涡轮泵转子开发的激光平衡技术。采用这项技术的相关真空泵特别适用于包括质谱分析、电子显微术、检漏仪和残余气体分析系统等对振动敏感的应用。真空的分子泵

高度可靠的新型涡轮分子泵：安全、耐用、抗老化、体积小巧。在控温方面，涡轮分子泵配备集成传感器，集成的转子温度测量功能可确保始终发挥很佳性能，保障其很高运行安全性。在轴承方面，的混合轴承由两部分组成：前级真空侧运用耐温高、转速高且寿命长的油润滑式陶瓷球轴承，而高真空侧则使用灵活、抗压强的永磁径向轴承。

坚固耐用的轴承材料让系列涡轮分子泵的具备更高可靠性。此外，相较于其他涡轮泵，体型更加小巧紧凑，可集成到各种便携式和移动式应用中。同时，该泵还具备自动配件检测功能的Micro-USB接口，在短短几步之内即可投入使用，为用户带来便捷和高的效的使用体验。

除了可以承受更大的气体流量，谱拓系列分子泵还拥有其他TwissTorr分子泵除高压缩比之外的所有特点：

***的连接选项（RS232、NFC、蓝牙等），可以通过A-Plus软件连接电脑或者通过VacuumLinkAPP用手机进行无线操控

AFS悬浮轴承技术，抗震性好，噪音低

免维护轴承，零运行成本

无油运行，可确保真空系统洁净

体积小巧，可安装在任何位置，有利于轻松集成

防辐射和防磁场设计，无嵌入式电子设备，可在强磁场和辐射环境下运行

低电磁辐射，确保不会干扰工艺制程

我们此前曾发布过几篇文章，讲到使用真空产品如何让企业节约成本、尝到甜头（详情请点击：这里）。今天，我们再给大家介绍一个在节能灯制作中应用分子泵节约成本的案例。

为什么要把替换为分子泵机组？在制造节能灯的企业单位，有相当一部分都采用圆排机自动线，生产，产品质量一致性好。

但是，圆排机一般配置均采用直联式真空泵和谱拓真空泵作为机组，这样便带来了新的问题：①耗电量高；②噪音大；③占用面积大。因此，各照明设备企业和照明生产企业都积极寻找新工艺新方法来进行技改，以求改善这些状况。在这个过程中，公司与上海涌真机械有限公司不谋而合，并与上海正贝照明一起达成共识，用分子泵机组来替代。