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作者:潽拓光电2022/5/26 8:24:59






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大阪真空的涡轮分子泵(复合分子泵)的主要特点:

●无油的超真空环境

●机械式的气体分子排气(动态排气),对所有的气体的排气速度大致相同

●可排稀有气体和腐蚀性气体

●可连续排大流量气体

●可工作的压力范围(~10-10Pa)






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涡轮分子泵是一种真空泵它主要是通过高数旋转带动叶轮之后把动量传给气体而后排出气体实现真空作业的一个过程。既然是真空泵,必然会有常见的故障问题,主要的故障分别为:

1.分子泵的真空度正常,可以达到全速,但是噪音很大

2.油性棉花污染

3.分子泵无法启动

4.***进入分子泵

当工艺环境中有大量灰尘或***进入分子泵时,加速旋转的叶片和转子产生极大的损害。建议关闭并立即将其送修。



广州潽拓光电科技有限公司,公司所生产的日本大阪涡轮分子泵,涡轮分子泵、干式真空泵、以及各种低真空泵、各种真空成膜装置、大阪真空是以涡轮分子泵为主业的国际真空制造商。结构为卧式,泵腔内装有动、静叶列,气体由位于泵***的吸气口进入,经抽气通道流至泵体两侧,被叶列压缩终由排气口排出。 







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