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     日本磁悬浮分子泵1983年在全世界范围内开始广泛销售，其磁悬浮分子泵在世界上处于***的地位。Edwa***收购了日本精工，进一步确定了自己在IC Fab，TFT,OLED及Harddisk等生产领域的地位等分子泵。

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      分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。

这种泵具体可分为：

1)牵引分子泵 气体分子与高速运动的转子相碰撞而获得动量，被驱送到泵的出口。

2)涡轮分子泵 靠高速旋转的动叶片和静止的定叶片相互配合来实现抽气的。这种泵通常在分子流状态下工作。

3)复合分子泵 它是由涡轮式和牵引式两种分子泵串联组合起来的一种复合型的分子真空泵。

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