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单侧电极inficon电容薄膜真空规管结构图郭占社等提出了基于峰值检测的微电容测量法，该方法可用于检测inficon设备上的单一电容变化量。电路采用实时峰值检测技术，只检测待测电容的变化量。 首先正弦载波信号及微分电路对inficon器件输出的电容量进行载波调制，然后通过减法电路得到幅值与电容变化量成比例的正弦信号， 很后用峰值检测方法对信号进行解调，得到直流输出。测试结果表明，该测量电路具有良好的线性，测量精度可以达到2%，灵敏度可以达到3.6V/pF。但该电路不易于小型化集成。

图2基于峰值检测的微电容测量电路框图Wang等设计了一种具有宽温度范围的基于CMOS的微电容测量电路。 电路采用相关双采样方法，Vref为输入参考电压，时钟信号Φ1、Φ2通过控制开关控制电容的充放电从而完成对敏感电容的测量。保持电容Ch1、Ch2用来存储和消除低频噪声及运算放大器的偏置电压。

电路采用结构简单、性能稳定的二阶Σ-Δ调制器来实现高的分辨率，其中电容C3=2***。测量过程分为两个阶段，当信号Cal置“0”时，电路处于正常工作状态，输出为y；当信号Cal置“1”时，电路处于校准状态，C1和C2位置互换，此时输出为y′。两种状态下的输出信号都包含由时钟反馈回路、电荷注入效应、开关漏电流等产生的噪声，两者相减即可消除这些噪声。

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静电力平衡式微电容测量法适用于静电力平衡式inficon电容薄膜真空计，电路为闭环结构，包括微电容测量电路和静电力控制回路，其中静电力控制回路用来产生平衡感压薄膜的静电力，对系统的测量性能有着至关重要的影响，该方法在保证真空计高准确度测量的同时还能拓宽其动态测量范围。

inficon电容薄膜真空计用于真空测量，要求在较宽的压力测量范围内能测得较小的压力变化量，同时需要满足深空探测、临近空间探测以及空气动力学实验等活动中测量仪器小型化的要求，所以测量电路应该在满足测量要求的前提下尽可能实现集成化、小型化、功耗低。因此，针对不同电极结构的inficon电容薄膜真空计微电容测量电路应朝着易于集成、小型化的方向发展。

由于基于开关电容法的微电容测量电路易于集成，而静电平衡结构的微电容测量法有拓宽动态测量范围的优势，因此基于两者结合的微电容测量电路有望实现对inficon电容薄膜真空计整体测量性能的提升。另外，随着人工智能以及物联网的发展，inficon电容薄膜真空计的应用范围已经从航空航天等领域向大众化领域拓展，这使得其需求量变大，种类更多，考虑到市场的研发时间成本，研发和设计能满足不同类型的inficon电容薄膜真空计的电路是接下来inficon电容薄膜真空计微小电容测量电路的主要发展方向。

火星携带式真空计校准装置

真空计校准装置怎样完成“小直尺”充分发挥“大***”？

回望携带式真空计校准装置的产品研发过程，为了确保校准装置的灵巧应用，以完成线上校准的初衷为牵引带，真空事业部商品研发人员在早期技术性累积基本上，进行集智科技攻关，提升了诸多技术性困难。为了更好地达到不一样室内空间、不一样自然环境的灵巧应用，要确保“直尺”容积充足小、便捷带上。

研发人员选用模块化设计、一体化设计方案，根据机械结构设计和硬件配置构造的持续更新，相比于初代产品构造更为紧密，应用更加便捷；设计方案为壳体式构造，能够更好地维护装置本身和规范器，完成远途带上，有利于在试验室和当场校准应用。现阶段，很新代该装置容积约500mm×500mm×850mm。

火星科技人员应用携带式真空计校准装置

为了更好地校准装置的后期发展趋势，具有更多用途，要确保装置具备扩展作用插口。研发人员选用在装置中预埋通用性真空插口的方法，便捷后面产品组合策略，扩展新的作用，如扩展标准孔板校准、测漏等作用。根据真空事业部很多年来的持续克难攻坚，胆大自主创新，现阶段研制的携带式真空计校准装置在机器设备外型、顾客页面及实际操作应用上更为美观大方有效，具有体型小、易带上，不会受到自然环境、室内空间等原因危害，随时都可以开展校准应用，