Edwa***二手分子泵用途择优推荐「潽拓光电」
作者:潽拓光电2022/3/7 3:16:15






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        广州潽拓***维修分子泵,Edwa*** EPX TWIN 180L爱德华半导体真空干泵维修

技术参数:

品牌:Edwa***                                                        型号:EPX TWIN 180L

入口法兰:ISO63                                                     出口法兰:NW25

水接头:3/8 in快速                                                  电源供给:200/208V,50/60Hz 三相

电机额度功率:3.0kw                                                  重量:55kg


应用:

EPX系列涵盖广泛的应用,从水处理到中度工作负载的制程。

EPX'L'系列旨在用于泵送惰性气体混合物(如负荷锁定)且通过制程机台借口提供控制的清洁工作应用


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分子泵的分类

        复合式分子泵的形式很多,按结构分,主要有两种:一种是涡轮叶片与盘式牵引泵的串联组合;另一种是涡轮叶片与筒式牵引泵的串联组合。涡轮级主要用来提高泵的抽速,一般采用有利于提高抽速的叶片形状,级数在 l0 级以内。牵引级主要用来增加泵的压缩比,提高泵的出口压力。



        盘式牵引级是在平板圆盘平面上按一定规律开出数条型线沟槽,然后将数块圆盘串接起来构成,型线有阿基米德螺线、对数螺线、圆弧线等。抽气时靠高速转动的圆盘对气体分子进行“拖动”,使其沿沟槽作由内向外及由外向内的往复折回的定向流动,从而达到抽气目的。



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