石英挠性加速度计性能挠性的材料为温度性能好的石英玻璃，外形采用超声加工而成，挠性元件的加工一般采用化学腐蚀方法；也可以采用反应离子蚀刻工艺加工整个挠性材料，但造价很高。石英挠性加速度计性能在结构上强行磁极对顶固定，互为对方的反向磁片，在间隙间形成均匀磁场。当有加速度a输入时，由挠性材料及力矩线圈组成的敏感质量块相对平衡位置运动而产生惯性力Fa或惯性力矩，然后通过换能器将此机械运动转换成电信号，再通过伺服放大器变成电流信号，电流信号被馈送到处于恒定磁场中的力矩器而产生反馈力Foc或反馈力矩Moc，与输入加速度引起的惯性力Fa或惯性力矩相平衡，直到再次***到平衡位置。通过分析石英挠性加速度计的温度误差机理,研究在不同温度条件下的静态输出特性.利用多次温度实验数据,采用更小二乘和多项式拟合的方法建立了石英挠性加速度计温度误差补偿模型.实验结果表明:温度误差补偿后,石英挠性加速度计在-20℃到50℃范围内刻度因子漂移量由10-4数量级提高到10-5数量级,零偏漂移量由800μg提高到52μg.

石英挠性加速度计已经形成了系列化产品，产品类型从的ug级加速度计到石油钻井用抗恶劣环境加速度计、耐高温加速度计，工作温度可达185℃。石英挠性加速度传感器一般为单轴力矩反馈式加速度计，通过检测质量来检测外界的加速度信号，再经伺服电路解调、放大，输出电流信号正比于加速度信号。石英挠性加速度计性能为各类系统的导航、制导、控制、调平、监测等提供惯性加速度信号。

石英挠性加速度计是惯导产品的核心器件之一,主要敏感载体运动中的加速度,为系统提供位置信息。加速度计具有力学敏感特性,其测量精度易受环境因素变化的影响。针对加速度计在不同地域测试时标度因数发生较大变化的问题,分离了加速度计异地测试过程中的时漂、温变，石英挠性加速度计结构 轭铁由温度系数低，导磁性能好的软磁材料组成。当有加速度a输入时，由挠及力矩线圈组成的敏感质量块相对平衡位置运动而产生惯性力Fa或惯性力矩，然后通过换能器将此机械运动转换成电信号，再通过伺服放大器变成电流信号，电流信号被馈送到处于恒定磁场中的力矩器而产生反馈力Foc或反馈力矩Moc，与输入加速度引起的惯性力Fa或惯性力矩相平衡，直到再次***到平衡位置。石英挠性加速度计评价指标主要由零偏和标度因数组成。长期监测石英挠性加速度计的输出特性,能有效地分析其性能退化过程。针对石英挠性加速度计实时性能评测、参数建模等需求,设计了一种基于无线传感器网络的无线采集与实时分析处理系统。

石英挠性加速度计性能主要由力矩器、检测质量块、电容检测器、石英摆片、伺服放大器、壳体构成。结构简单、体积小、重量轻、灵敏度高、热稳定性好、功耗小、动态特性好、精度高、可靠性好、是惯性导航与制导以及其它惯性***系统中被广泛应用的一种惯性器件。石英挠性加速度计是一种力平衡式传感器，它将输入加速度转换成其挠性摆片的微小位移，并用反馈力加以平衡。由于采用了力反馈回路，使这种挠性加速度计具有精度高，抗干扰能力强的特点。