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球杆仪

基本介绍“干涉测量法”是一种利用波的干涉现象（常见的波有光波，无线电波或声波）进行测量的一种方法。测量可能涉及对波本身的某些特性以及与波相互作用的材料的测量。使用机床测头系统就使得这一过程简单快捷而准确可靠，我们只需将工件固定，然后使用机床测头对***基准（点、面、孔、轴、台阶、角）进行在机测量，便可迅速确定和更新机床加工坐标，整个过程只需几十秒。此外，“干涉测量法”用于描述通过光波研究位移变化的技术。在精密加工中广泛采用这一位移干涉测量法来校准和控制机械台运动。

干涉测量法说明

通过使用两束光（通常将一束光分为两束光），可在其叠加时形成干涉图。由于可见光的波长非常短，两束光的光路（传播距离）稍有不同，就能被检测出来（因为这些差异会在干涉图上产生明显的变化）。理论上，如果在数控机床上编程跟踪圆轨迹而且机器***性能为理想状态，则实际圆会与设定圆吻合。因此，光学干涉测量法上百年来一直是一项非常有价值的测量技术。随着激光的发明，干涉测量法的精度得以改进。

球杆仪是由一根轴向可伸缩的杆和两个安装在磁性球座上的的金属球（球度误差小于0.05μm）组成。两个球通过内装强力磁铁的磁性球座分别与工作台和主轴端部相联。球与磁性球座之间是三点接触，保证灵活转动。使用单频激光干涉仪时，要求周围大气处于稳定状态，各种空气湍流都会引起直流电平变化而影响测量结果。可伸缩杆上安装着可记录伸长量的位移测量装置用于测量沿连杆方向的长度变化。