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激光干涉仪的类型有哪些?
您知道激光干涉仪的类型有哪些吗?
1、单频激光干涉仪
从激光器发出的光束,经扩束准直后由分光镜分为两路,并分别从固定反射镜和可动反射镜反射回来会合在分光镜上而产生干涉条纹。测针夹持座和测杆有一系列材料供选择---钛、碳化钨、不锈钢、陶瓷和碳纤维。当可动反射镜移动时,干涉条纹的光强变化由接受器中的光电转换元件和电子线路等转换为电脉冲信号,经放大后输入可逆计数器计算出总脉冲数,再由电子计算机按计算式式中λ为激光波长(N 为电脉冲总数),算出可动反射镜的位移量L。使用单频激光干涉仪时,要求周围大气处于稳定状态,各种空气湍流都会引起直流电平变化而影响测量结果。
校验测针要注意的问题:
测针校验后的校正直径小于名义值,不会影响三座标测量机的测量精度。以三坐标测量机来说,触发测头理想的使用方法就是用测针要垂直地去触测零件,当然零件完全保持垂直是不可能的,但是在触测取点时至少须保持与零件垂直面角度在±30o以内,以防止测针触测打滑而造成测量的精度不佳的情况产生。相反,还会对触测和测针的变形起到补偿的作用,因为我们在用三坐标测量机测量过程中测量软件对红宝石球半径的修正(把测针红宝石球中心点的坐标换算到触测点的坐标),使用的是校正直径而不是名义直径。
为什么使用球杆仪?
作用:机床精度综合检测分析的标准设备。
测试原理为:利用机床的两轴联动做圆弧插补,通过分析圆弧的半径变化和弧线的轨迹特征来判断机床的误差元素。
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