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进入二十一世纪后，随着对污水尾水消毒的日益重视和在部分污水厂的运行经验积累，紫外线消毒和杀菌设备消毒技术得到了推广，预计今后有条件的污水处理厂中50%将会采用紫外线消毒和杀菌设备消毒，并在城市污水处理应用中成为取代传统化学消毒方法的主流技术。这一技术将有着广阔的应用前景。另一方面，产生自由基可引起光电离，从而导致细胞的死，利用紫外线灯管辐照强度，即紫外线杀菌灯所发出之辐照强度，与被照消毒物的距离成反比。  

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臭氧是强氧化剂。臭氧处理法是利用臭氧分解时，生成的新生态氧的氧化作用和分解能力。表1说明在水处理过程中，臭氧的功能和利用目地。

无机物的氧化

金属离子的去除：除铁、除锰、有机金属化合物的分解；***物质的去除：NOx、SOx等的氧化分解。

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臭氧处理法，除了灭菌作用以外，还有脱色、去臭，使难分解的物质变成容易分解的物质，絮凝作用的改善和提高净化能力等。因此，在工厂用水和处理方面，臭氧的应用范围很广，既可以用于处理原水系，生产用水，也可以处理排水，但是，作为生产用水使用的来菌手段，臭氧处理法的复合作用，在有的场合也并不受欢迎。在波长160-200之间，真空UV对于TOC的去除十分有效，波长在185nm时，TOC去除率较高。

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