大多数石墨热场高温真空炉是采用电阻加热的方式。加热器的选材可以是金属或者石墨。根据需要，加热器可以设计成多种形式。加热器材料的选择主要取决于工作温度。对于低工作温度的，例如真空回火炉来说，价格便宜的镍铬合金就可以胜任。对于需要高温，用来做热处理的诸如，淬火炉和钎焊炉来说，钼和石墨是目前流行的材料。多晶石墨热场加工

热场一般包括（石墨材料）压环、保温盖、上中下保温罩、石墨坩埚(三瓣埚)、坩埚托杆、坩埚托盘、电极、加热器、导流筒、石墨螺栓，且为了防止漏硅，炉底、金属电极、托杆、都设置了保护板、保护套。石墨热场简单的说就是用来拉单晶硅的整套石墨加热系统。由于石墨材料本身所具有的多孔性和可渗透性，各层隔热材料之间不需要预留额外的空间。多晶石墨热场加工

石墨热场

石墨热场简单的说就是用来拉单晶硅的整套石墨加热系统。常见的是18寸的石墨热场。

热场的组成部分如加热器、三瓣埚、石墨托、热屏等均由石墨加工而成。那么石墨器件损坏的原因是什么，石墨器件的损坏，主要有人为和劣化两个方面的原因。人为方面只要加强管理，强化员工防范意识，就可以将损失降到点。这里主要讨论劣化。

首先我们来了解石墨的有关特性，

1.耐高温性，石墨的熔点极高，在真空为3850度，在低压下升华，升华温度为2200度，与一般材料不同，当温度升高时石墨不但不软化，强度反而，在2500度时，石墨的抗拉强度反而增加一倍。

多晶石墨热场加工

石墨热场

热场的组成部分如加热器、三瓣埚、石墨托、热屏等均由石墨加工而成。

加热时间过长、石英坩堝质量不过关、原料酸碱度未达到要求，会导致漏硅和渗硅，熔硅渗入三瓣堝之间的缝隙之间冷却后一是撑坏三瓣堝，二是使三瓣堝相互粘接，在清炉时，使其分离有可能造成断裂。多晶石墨热场加工