1>.一般石墨舟在运行 100 至 120 次后就应该对石墨舟进行清洗,石墨舟清洗次数达到后,硅片会发红。 这是因为舟上的 SiN 会随着运行次数的增加而增加,影响舟的正常使用。
2>.在室温条件下 (<40°C),将舟放入32升HF酸中,大约高过石墨舟1.5cm左右。
浓度是 10%, 腐蚀时间为 10-12小时。低浓度条件下,腐蚀槽会被产生的 SiN 颗粒污染,因此需要进行定期的过滤维护。 浓度高于 10%会对操作人员造成***。其他部件应该被分开放入腐蚀槽内并且不可互相接触,这样 HF 酸就可以腐蚀到任何部位,这对于石墨连接块而言更为重要。
干燥装置:主要有远红外加热炉、真空烘干炉、烘粉盘、粉耙、勺子、漏斗等。
检测设备:用于粉末粒度的检测;放大三十倍的显微镜;金相显微镜;天平;粉末化学成份的检测一般是外送当地的商检局检测。
包装设备:主要有筛分机、打包机、混粉机、瓶装氮气、(用于容易氧化的金属粉末的保护,一般是在放有容易氧化的金属粉末的桶中,充入氮气后密封,这样可以在一定时间内防止桶中的金属氧化。)
用于质量保证的非接触式3D测量用于质量保证的非接触式3D测量用于质量保证的非接触式3D测量,激光非接触式测量是在精密零件加工后进行的,并且根据测量数据可以进行逆向工程。与3D模型数据进行比较并评估了整个工作形状。
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