放电过程中虽然电子温度很高，但重粒子温度很低，整个体系呈现低温状态，所以称为低温等离子体。低温等离子体降解污染物是利用这些能电子、自由基等活性粒子和废气中的污染物作用，使污染物分子在短时间内发生分解等离子体去除污染物。该方法具有处理效果好，运行费用低廉、无二次污染、运行稳定、操作管理简便、即开即用等优点。

涂装烘干过程烘道中需要不断抽出废气和补充新鲜空气，以使烘道气体中有机成分低于其极限，烘干有机废气中的有机成分主要为和油漆高温固化反应的产物，废气中有机成分含量一般达到1000mg/Nm3以上，远远超过《标准》要求，均需处理后才能排放。烘干有机废气常用的废气净化设备有催化燃烧装置、蓄热式热力焚烧装置和废气焚烧炉，下面分别介绍。

催化燃烧装置在运行过程中净化能力逐渐衰减，净化效果不稳定，净化后气体排放温度一般在300℃以上能耗较大。由于上述原因，催化燃烧装置仅适合小批量汽车烘干废气的处理，近来新建大批量汽车涂线中，催化燃烧装置已经逐渐被RTO和废气焚烧炉所取代。2.2蓄热式热力焚烧炉(以下简称RTO)，近年来随着我国汽车大批量汽车生产线的建设，RTO以其价格适中、节能、适用于大风量有机废气处理的特点，在新建大批量汽车涂装生产线中得到广泛使用。