无尘室主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为无尘室。
每立方米将大于0.5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,就达到了国际无尘标准的A。应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用,可提供局部超洁净之空气。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内,这也就是业内俗称的1K级别。
在电子元件制品的制造过程中,微粒子污染对成品率有重大影响,故应在过程中严格控制微粒子的数量,遵守“不携入、不发生、不储备、除去”四项基本原则以防止微粒子污染。
无尘室内防止微粒子污染基本原则:
排除/除去
在无法避免大量微粒子发生的机台中,为了不让无尘室内产生微粒子,因此直接做对外排气的动作,即所谓的局部排气。针对排气的对策如下:由于导入同量的外气是必要的,但会伴随大量的能源消耗。所以无法说是理想的对策。洁净室内工作的人员都应当充分了解个人卫生习惯对洁净室洁净程度的影响有多大,这才是很重要的。因此尽可能地在压缩排气量的同时,不仅仅是向无尘室外排气,负离子检测仪而应采用将除去粒子后的空气再回流到无尘室内之对策。
个人物品,例如烟、钱包、纸巾和纸制品,都要存放在办公桌或者储物柜里,不能把它们带进洁净室。除非得到管理人员的特别许可,否则,在洁净室里,衣服口袋只能是空的。苏州卓宇泰公司要求在进入洁净室之前,首先要把眼镜和护目镜上所有看得见的微粒污染物擦掉。无尘室的缺点:乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出,易污染制无尘室程产品。干燥的皮屑、呼出的空气和唾液都可能会污染产品。一次性鞋套每天更换一到两次。
洁净室(无尘室)吸尘器的主要组成:
大扒头:当清扫地面面积较大时,使用大扒头可有效快速的提高工作效率。
小扒头:清扫面积相对较小时,小扒头可方便快捷的扫除工作台底部的灰尘和颗粒。
圆毛刷:工作范围主要集中在工作台台面,清楚工作台面细微的小颗粒
伸缩杆:增大清扫范围领域。
软管:机器正常工作时,吸收的小颗粒,灰尘,杂物,经过吸口有软管传递到过滤系统。
集尘袋:洁净室吸尘器的过滤系统,也是为重要的环节,收集人眼能分辨的小颗粒,对保护马达和过滤器有重要作用。
电源开关:控制吸尘器的启动和关闭。
过滤器:过滤器是吸尘器的第四大过滤系统,也是后一个环节,过滤器能过滤0.012um的小颗粒,过滤之后的空气达到100级以上。
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