在电子元件制品的制造过程中，微粒子污染对成品率有重大影响，故应在过程中严格控制微粒子的数量，遵守“不携入、不发生、不储备、除去”四项基本原则以防止微粒子污染。

　　无尘室内防止微粒子污染基本原则：

      排除/除去

　　在无法避免大量微粒子发生的机台中，为了不让无尘室内产生微粒子，因此直接做对外排气的动作，即所谓的局部排气。针对排气的对策如下：由于导入同量的外气是必要的，但会伴随大量的能源消耗。所以无法说是理想的对策。因此尽可能地在压缩排气量的同时，不仅仅是向无尘室外排气，负离子检测仪而应采用将除去粒子后的空气再回流到无尘室内之对策。但是需注明是滤网风速测量（滤网表面）或是无尘室室内风速测量（工作高度）。

   简易无尘室是一种可提供局部高洁净环境的空气净化设备。简易无尘室主要由箱体、风机、初效空气过滤器、阻尼层、灯具等组成，外壳喷塑。

   产品配制

   1.框架：以工业铝材（或不锈钢方通、铁方通喷塑）作为框架稳固、美观、不生锈、不产尘；

   2.防静电垂帘：四周围用防静电垂帘（或钢化玻璃），防静电效果好、透明度高、网格清晰、柔韧度好、不变形、不易老化；

   3.风机滤网机组FFU：，采用离心风机，内部净化级别可达100-100K级；

   4.内部采用净化室净化灯，不产尘；

    个人物品，例如烟、钱包、纸巾和纸制品，都要存放在办公桌或者储物柜里，不能把它们带进洁净室。除非得到管理人员的特别许可，否则，在洁净室里，衣服口袋只能是空的。苏州卓宇泰公司要求在进入洁净室之前，首先要把眼镜和护目镜上所有看得见的微粒污染物擦掉。干燥的皮屑、呼出的空气和唾液都可能会污染产品。一次性鞋套每天更换一到两次。当你使用专用吸尘器时，可以减少您清洁厂房的次数，因为它不会二次扩散灰尘，并可净化室内空气。

    洁净室吸尘器是无尘厂房、车间的强力真空吸尘器，可迅速、便捷、地完成清洁工作。特点：超高过滤效果，可有效的除去对呼吸气管造成***的***粉尘，减少呼吸***的发生。当你使用吸尘器时，可以减少您清洁厂房的次数，因为它不会二次扩散灰尘，并可净化室内空气。有完备的各类吸嘴，任何角落皆可轻松清洁干净。较强的吸力可吸除更深层的粉尘。设计新颖轻巧，符合***工学，操作时不会腰酸背痛,减少***不适。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质，ULSI制程大都采用此种型式。吸尘器可专门针对防尘爆及***粉尘，如石棉，铅等物质，美国太空总署特别使用吸尘器清除货仓内的微细粉尘。