无尘室中不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。发尘量无尘室内的发尘量,来自设备的可考虑通过局部排风排除,不流入室内。无尘室主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为无尘室。按照国际惯例,无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。
无尘室被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间,其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度,从而达到适当的微粒洁净度级别。
气流是控制洁净度与温湿度的主要因素,它对噪音也有一些影响。因此风速测量,都是放在无尘室测试的步。风速测量的目的,是确认滤网送出的气流满足设计规范,其次是确认气流的均匀度。非单流向型无尘室,由于微粒控制的观念是稀释,不是立即排除,一般而言其换气量远比风速重要,因此多只需要测量风量。在某些场合可能因现场的限制,室内换气量还必须用风速乘以出口面积来换算。
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每立方米将小于0.5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,就达到了国际无尘标准的A。目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。突发性的振动及不稳定的气流会使这些累积微粒在空气中再度扬起,增加了重大微粒子污染的***性。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内,这也就是业内俗称的1K级别。
个人物品,例如烟、钱包、纸巾和纸制品,都要存放在办公桌或者储物柜里,不能把它们带进洁净室。除非得到管理人员的特别许可,否则,在洁净室里,衣服口袋只能是空的。苏州卓宇泰公司要求在进入洁净室之前,首先要把眼镜和护目镜上所有看得见的微粒污染物擦掉。干燥的皮屑、呼出的空气和唾液都可能会污染产品。5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,就达到了国际无尘标准的A。一次性鞋套每天更换一到两次。
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