无尘室内防止微粒子污染的基本原则：

　   不携入

　　在无尘室内不携入微粒子的方法有：

　　作业员进入无尘室前，机台、零件携入前应进行清洁处理；

　　进入无尘室者在更衣室要穿着不发尘、不产生静电的具特殊导电性纤维材质的无尘服、帽、鞋、手套、口罩等。

　　通过风淋室时利用高速干净空气除去附在衣服表面的粒子后，才能进入无尘室。

　　机器及材料带进无尘室前，应尽可能在密封状态下带进无尘室前室***后用超纯水擦拭，经风淋室吹淋后才进入无尘室。

　　无尘室中须全程穿戴密闭式安全帽及佩戴附有filter的排气用小型fan于腰间。

     若能彻底实施“不携入”技术，无尘室内的洁净度就可以维持。但现实中人和物品的频繁出入及制造机台的掣动，在广大的无尘室内要有完全洁净度是不可能的。因此“不储备”技术快速地在过滤器中应用以除去已发生的微粒子变得非常重要。5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下，就达到了国际无尘标准的A。通常已发生的微粒子会依据重力及静电吸附力而停留在周边的物体表面。突发性的振动及不稳定的气流会使这些累积微粒在空气中再度扬起，增加了重大微粒子污染的***性。

    除了人员进出洁净室须予以规范管理外，原材料及设备进出也必须经过洁净程序，方不至于影响洁净室洁净度。其进洁净室流程如表8-4所示。至于搬出则反向而行，但不须经洗涤程序。手套材料除为与洁净衣相同的布料外尚有薄橡胶或乙烯树脂（Vinyl），在使用过程中若有不舒适感或妨害手指脂触感者则停止使用，手套表面有粉质时须去除或停用，原则上以使用无粉之Vinyl手套为佳。原材料及设备进出用洁净室为洁净室等级1000或10,000级房间，工作人员于其室内清洁设备或原材料时必须穿着清洁衣服，所使用擦拭纸为无尘纸或不会脱落纤毛无尘布，清洁剂除了使用超纯水之外，并加入3～5%浓度的IPA或***，以增强去污能力，由于IPA具挥发性故此房间排气效果须特别考虑。搬迁设备时为免***地板支架及地板表面，必须事先于地板上铺设已清洁过的不锈钢板，作为辅助。