无尘室的洁净度往往受到气流的影响，换言之，即人、机器隔间、建筑结构等所产生的尘埃之移动、扩散受到气流的支配。无尘室系利用HEPA、ULPA过滤空气，其尘埃的收集率达99.97~99.99995%之多，因此经过此过滤器过滤的空气可说十分干净。然而无尘室内除了人以外，尚有机器等之发尘源，这些发生的尘埃一旦扩散，即无法保持洁净空间，因此必须利用气流将发生的尘埃迅速排出室外。辅助设施必须因地制宜,按实际需要配套,缺一都会影响厂区环境卫生,影响生产正常进行。

    无尘洁净室中的三尘。无尘洁净室有三大原则：禁尘、带尘、产尘。风淋室作为进入洁净室的缓冲通道之一，是控制带尘的好净化设备之一，它可以大限度地减少员工进出无尘洁净室所带来的污染问题。风淋室的两道门电子互锁，可以兼起气闸室的作用，阻止外界污染和未被净化的空气进入无尘洁净区域，达到生产车间所要求的生产洁净环境。1、无尘室厂区总图布局应考虑产品工艺特点和防止交叉污染,按生产、行政、生活和辅助区等合理布局,不得互相防碍。

   洁净室（无尘室）吸尘器的主要组成：

   大扒头：当清扫地面面积较大时，使用大扒头可有效快速的提高工作效率。

   小扒头：清扫面积相对较小时，小扒头可方便快捷的扫除工作台底部的灰尘和颗粒。

   圆毛刷：工作范围主要集中在工作台台面，清楚工作台面细微的小颗粒

   伸缩杆：增大清扫范围领域。

   软管：机器正常工作时，吸收的小颗粒，灰尘，杂物，经过吸口有软管传递到过滤系统。

   集尘袋：洁净室吸尘器的过滤系统，也是为重要的环节，收集人眼能分辨的小颗粒，对保护马达和过滤器有重要作用。

   电源开关：控制吸尘器的启动和关闭。

   过滤器：过滤器是吸尘器的第四大过滤系统，也是后一个环节，过滤器能过滤0.012um的小颗粒，过滤之后的空气达到100级以上。