复合式：

　　复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。

　　(1)洁净地道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%笼盖使洁净度等级进步至10级以上，可节省安装运转用度。此型式需将功课职员之 工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响工作及品质。ULSI制程大都采用此种型式。2、除尘器运行中要注意观测DCS系统显示的系统压差、入口气体温度、主电机的电压、电流等数值，合肥除尘净化设备，以判断除尘器整机的运行状况正常。

　　洁净地道另有二项长处：A.弹性扩充轻易； B.维修设备时可在维修区等闲执行。

　　(2)洁净管道(Clean Tube)：将产品流程经由的自动出产线包抄并净化处理，将洁净度等级提至100级以上。因产品和功课员及发尘环境相互隔离，少量之送风即可得到良好之洁 净度，可节省能源，不需人工的自动化出产线为相宜使用。***、食物业界及半导体业界均合用。5、检查电动机电流指示应当正常、温度、振动不得超过规定值，运转声音无异常等。

(3)并装局部洁净室(Clean Spot)：将洁净室等级10,000~100,000之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级进步为10~1000级以上，认为出产之用；洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。

净化目的：

保护档案从业人员的身体健康，在古籍与高污染档案整理过程中，防止放i射性和挥发性气体，对档案从业人员身体造成的危害。古籍与高污染档案在整理的过程中，在防护罩内将各种***气体和污染物通过负压吸附的方式进行有***净化处理，直接控制了微生物、颗粒物与气态污染物的无***排放问题，保证了档案整理过程中处于洁净无尘无辐射状态。2、风力大小：风力直接影响吸力，工业除尘器因其清理的垃圾较重，要求吸力要强劲。  

选购合适的工业除尘器的几个要点：

1、容量不同：工业除尘器用在工业领域，通常垃圾较多，故在设计时垃圾箱的容量都较大。而商业吸尘器要小的多。

2、材质不同：在桶体上工业除尘器一般都是金属外壳，而商业除尘器多为聚乙烯材质。

3、滤网不同：工业除尘器的过滤精度比商业除尘器也精密很多，各种品牌采用的过滤网也有不同。