洁净室的等级和含义洁净室是对空间内空气中的微粒做到控制,所构造的特殊封闭性建筑。总体来说,洁净室也会对温湿度、气流运动模式、与震动噪音等环境因素做控制。洁净室对等级的不同,对一定空间内的微尘粒子容许量有一定规范,在中分为ISO-14644,ISO-14644的等级定义。这里所指的微粒尘埃是肉眼无法看见的灰尘及粒子,一般空气清净机无法完全清除之灰尘。洁净室一般分为电子、精密工业用(ICR);及需控制微生物浓度等制药、食品产业用。
洁净室属于人造的环境,里面含有的粒子远低于一般的环境,随着集成电路的级数的快速成长,也增加了对制造环境(洁净室)洁净度要求,在工业上即使使粒子之尺寸想小于0。1微米。也可能阻碍产品的制作或降低其寿命。优于纳米技术的兴起,造成半导体关键尺寸持续缩小,集成电路积集度不断地增加,尘粒更容易使芯片失效或可靠度下降。例如当金属尘粒落到金属导线时,就可能会使金属导线形成短路。所以洁净室为集成电路制造必不能少的因素。
国内现有防排烟模式分析国内目前现有之洁净室烟控模式共有四种。其中,烟控设计原理,就是利用在洁净室下层回风区的一般排气风管,在其上安装闸门,平时此闸门为关闭状态,以维持一般排气的运作,若遇上洁净室或洁净室下层回风区发生火灾时,则打开闸门以进行排烟。此设计必须有两个假设成立才能发挥其***,假设为:若火灾发生于洁净室中,则洁净室上方的FFU下吹垂直层流速度必须大过火灾向上升的速度,才能压制洁净室火灾产生的,将其导引向下至下层回风区中,然后经由排气风管打开的闸门抽走。
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